[实用新型]一种自动调平式空气弹簧隔振台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种隔振台，尤其涉及一种能自动调平的仪器用空气弹簧隔振台。 

背景技术

目前，由空气弹簧组成的隔振台已广泛应用在超精密测量与加工行业中。空气弹簧隔振台主要部分包括空气弹簧、控制阀、附加气室、控制单元等。当外界振动促使空气弹簧发生形变时，空气弹簧主气室与附加气室之间产生压力差，空气就会通过节流孔或管路在两者之间进行流动，产生阻尼效果，从而吸收一部分振动能量，起到隔离外界振动的作用。 

根据“三点确定一平面”可得出三个空气弹簧即可将隔振台支撑起来，而在实际应用中为了稳定可靠，隔振平台多用四个空气弹簧支撑，用四个附加气室分别供气。而传统的节流方式多采用小孔节流，也限制了空气弹簧隔振台的机械结构。 

空气弹簧在无气时处于压缩状态，长期易损坏空气弹簧气囊；空气弹簧在充气过多时处于过度伸长状态，同样不利于空气弹簧气囊。因此有必要设计专用的空气弹簧上下限位机构，以防止异常情况下空气弹簧遭受损坏。隔振台工作时，由于空气弹簧高度很难保持一致，使平台无法处于绝对水平姿态，因此有必要监测隔振台的平整状态，通过控制单元实现隔振台的绝对水平。 

发明内容

本实用新型克服了现有技术中的不足，提供了一种带有上下限位机构的仪器用空气弹簧隔振台，并能依靠控制单元快速实现隔振台的绝对水平。 

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用下述技术方案： 

空气弹簧隔振台包括空气弹簧、限位机构、矩形气室、电气比例阀、节流管路、双轴倾角传感器和控制单元；气体分别通过三个电气比例阀进入三个矩形气室，其中较大的矩形气室向两个空气弹簧供气，两个较小的矩形气室向剩下的两个空气弹簧单独供气，矩形气室与空气弹簧间通过节流管路进行节流，同时空气弹簧在无气与充气过多时，限位机构起支撑作用；空气弹簧隔振台工作时，双轴倾角传感器监测平台的倾斜程度，由控制单元控制电 气比例阀的通断，实现相应空气弹簧的充气或放气，最终达到空气弹簧隔振台的绝对水平姿态。 

所述的较大气室体积是另外两个较小气室体积的两倍。 

所述的节流管路采用PU管。 

所述的限位机构采用Π型支架。 

由于采用上述技术方案，本实用新型具有的有益效果是： 

1、可实时自动调平空气弹簧隔振台，为超精密仪器的使用提供了良好的平台。 

2、三个矩形气室供气可有效地调整空气弹簧隔振台的姿态，减少了附加气室的数量。 

3、采用PU管进行节流，使空气弹簧主气室与附加气室分离开来，同时可根据隔振台性能参数的要求，更换不同孔径与长度的PU管。 

4、空气弹簧设有上下限位机构，在空气弹簧主气室无气或充气过多时可避免空气弹簧的气囊损坏。 

本实用新型适用于超精密测量与加工领域，特别适用于粗糙度仪、圆度仪、原子力显微镜等需要隔振的精密仪器设备。 

附图说明

图1是本实用新型的主视图； 

图2是本实用新型的等轴测视图； 

图3是图1中空气弹簧3的等轴测视图； 

图4是本实用新型的自动调平原理示意图； 

图中：1、台面，2、进气口，3、空气弹簧，4、电气比例阀a，5、电气比例阀b，6、电气比例阀c，7、矩形气室a，8、矩形气室b，9、矩形气室c，10、PU管，11、空气弹簧a，12、空气弹簧b，13、空气弹簧c，14、空气弹簧d，15、橡胶底垫，16、Π型支架，17、下盖板，18、气囊，19、上盖板，20、M4内六角螺钉，21、M5内六角螺钉，22、M6内六角螺钉，23、垫片，24、顶板，25、供气装置，26、双轴倾角传感器，27、控制单元。 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细描述： 

如图1所示，一种自动调平式空气弹簧隔振台由四只完全相同空气弹簧3支撑，经压缩过滤干燥后的纯净空气通过进气口2向隔振台供气，其台面 1上可放置需要隔振的超精密仪器设备。