[实用新型]用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种雾化装置，特别是涉及一种用来雾化电浆的前驱物的恒温式雾化装置。

背景技术

以往镀膜制程中，为了将靶材中的离子轰出，需要在反应室中制造电浆，而产生电浆的前驱物有的是气体形式，有些是液体形式，其中，液体前驱物需要经过雾化装置的雾化才能送入反应室内。而以往用来雾化电浆前驱物的雾化装置通常包含数个独立的雾化模组，当电浆的前驱物被雾化后，再利用载气(Carrier gas)送到该反应室内，将载气通入前驱物液面下后，会将前驱物雾化为气态，最后从出气管出气。

以往雾化装置的每个独立的雾化模组虽然都可以达到雾化电浆前驱物的目的，但是在一般镀膜的制程中，雾化液滴的载气的流量、压力、液滴的温度，以及液面高度变化，都会影响镀膜沉积的品质，前述镀膜沉积的品质通常是指：镀膜的均匀度、雾度、膜厚、水滴接触角、沉积附着力等等。而以往雾化装置的各个独立雾化模组所储存的液滴，很难维持相同的温度，故对于镀膜沉积的品质有不良的影响。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可以提高镀膜沉积的品质的用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置。

本实用新型的恒温式雾化装置包含：一个恒温基座、数个安装在该恒温基座上的雾化模组，以及一个恒温控制机构。该恒温基座包括一个供所述雾化模组安装的架设面，以及一条控温流道，而该恒温控制机构提供该恒温基座的控温流道一个循环流体，使该恒温基座维持在恒温状态。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温控制机构包括一个恒温水箱、一个连通该恒温水箱及该恒温基座的控温流道的连管单元，以及一个安装在该连管单元上并将恒温水箱内的流体送入该恒温基座的控温流道的泵。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，所述每个雾化模组都包括一个雾化室，而该恒温基座还包括一个连通所述雾化模组的雾化室的补液流道。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温基座的补液流道位于该控温流道及该架设面之间。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段，以及一个连接所述主流段的连通段。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该控温流道的所述主流段的其中之一具有一个入液口，而所述主流段的另一个具有一个出液口，该恒温控制机构的连管单元具有一条连接在该入液口及该恒温水箱间的第一连管，以及一条连接在该出液口及该恒温水箱间的第二连管，而该泵装设在该第一连管上。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温控制机构还包括至少一个安装在该恒温基座上并与该泵电连接的温度检知器。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温控制机构的恒温水箱具有数个与该温度检知器电连接的加热片。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温基座的控温流道具有两个沿着该恒温基座的一个长度方向延伸的主流段，以及一个连接所述主流段的连通段。

本实用新型所述的恒温式雾化装置，该恒温式雾化装置还包含一个将该恒温基座包覆其中的保温罩。

本实用新型的有益效果在于：利用在该恒温基座内部设置该控温流道，以及该恒温控制机构提供该控温流道恒温的流体，可以使该恒温基座保持稳定的温度，以提高镀膜沉积的品质。

附图说明

图1是本实用新型恒温式雾化装置的一个第一较佳实施例的组合剖视示意图；

图2是该第一较佳实施例的一个俯视参考示意图；

图3是该第一较佳实施例的一个局部立体图；

图4是一个类似图1的组合剖视示意图，说明本实用新型恒温式雾化装置的一个第二较佳实施例。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明，在以下的说明内容中，类似的组件是以相同的编号来表示。

参阅图1、2、3，本实用新型恒温式雾化装置的一个第一较佳实施例适合用于镀膜制程的领域中，并且将镀膜制程中用来产生电浆的前驱物加以雾化，该恒温式雾化装置包含：一个恒温基座1、数个左右间隔地安装在该恒温基座1上的雾化模组2、一个提供该恒温基座1一个循环流体并使该恒温基座1维持在恒温状态的恒温控制机构3，以及一个保温罩5。