[实用新型]一种通用型离子源喷头有效

专利信息
申请号: 201320083053.5 申请日: 2013-02-22
公开(公告)号: CN203071042U 公开(公告)日: 2013-07-17
发明(设计)人: 董晓峰;王姜;许柠;陈焕文 申请(专利权)人: 东华理工大学
主分类号: H01J49/16 分类号: H01J49/16;H01J49/04
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 鲁兵
地址: 344000*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 通用型 离子源 喷头
【权利要求书】:

1.一种通用型离子源喷头,包括一喷头基体,其特征在于:在基体上开设有一贯穿基体中心的贯通小孔,在所述基体的尾部,设置有与所述贯通小孔相通且同走向的串联锥度孔和螺纹孔,在所述锥度孔中设置有锥形卡套,所述卡套被旋设在螺纹孔中的毛细管螺头压紧;一毛细管,从所述毛细管螺头的中心孔、卡套的锥心孔,以及贯通小孔中穿过,首尾均露出一定长度;

在所述基体的尾部,与所述贯通小孔倾斜一定角度的方向上,设置有一与所述贯通小孔相通的斜侧位通孔,所述斜侧位通孔也为串联的锥度孔和螺纹孔,一带有锥度的进气管螺头旋设在其中;一进气管,从所述进气管螺头的中心孔引入并通向所述贯通小孔;

在所述基体的尾部,与所述贯通小孔、斜侧位通孔中心线所在平面垂直的方向上,设置有一水平螺纹孔,所述水平螺纹孔与所述贯通小孔不相通,在所述水平螺纹孔中旋设一高压螺头,一尾端焊接有高压导线的高压导头被所述高压螺头压设在水平螺纹孔中,所述高压导线从所述高压螺头的中心孔中伸出。

2.根据权利要求1所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述贯通小孔孔径比毛细管稍大。

3.根据权利要求2所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述贯通小孔直径取0.3mm,所述毛细管外径取0.18mm。

4.根据权利要求1或2或3所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述卡套分为前、后两锥形卡套,前卡套是一带有“V”形孔的空心锥套,“V”形孔前端连通一中心细孔,前卡套的前锥面贴合在基体的锥孔面上;后卡套是一个仅带有中心细孔的锥形套,后卡套的前锥面贴合在前卡套的后锥面上,后卡套的尾部为平端,贴合在毛细管螺头的下端。

5.根据权利要求1或2或3所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述斜侧位通孔前端锥度孔与所述贯通小孔相通,螺纹孔中旋设所述进气管螺头。

6.根据权利要求4所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述斜侧位通孔前端锥度孔与所述贯通小孔相通,螺纹孔中旋设所述进气管螺头。

7.根据权利要求1或2或3所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述基体为一锥形结构,尾部粗大,头部具有锥尖。

8.根据权利要求4所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述基体为一锥形结构,尾部粗大,头部具有锥尖。

9.根据权利要求5所述的通用型离子源喷头,其特征在于:所述基体为一锥形结构,尾部粗大,头部具有锥尖。

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