[实用新型]激光器

权利要求书

1.一种激光器，其特征在于，包括激光放电系统、气动流场系统和温控系统，所述激光放电系统、气动流场系统和温控系统是结构相对封闭自行控制的系统。

2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光放电系统包括激光放电腔(201)和位于激光放电腔(201)内的放电电极(202)。

3.如权利要求2所述的激光器，其特征在于，气动流场系统包括风扇(211)、风机(212)、流道(213)和喷口(214)，其中风扇(211)、风机(212)和流道(213)位于所述激光放电腔(201)的外部，喷口(214)位于所述激光放电腔(201)的内部并与所述流道连通，所述气动流场系统通过所述喷口(214)向所述激光放电腔(201)内注入气体或从所述激光放电腔(201)排出气体。

4.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述喷口(214)分为喷气喷口和吸气喷口，所述喷气喷口用于将经由流道(213)传输来的气流喷射以经过位于所述放电电极(202)之间的区域，所述吸气喷口用于将经过所述放电电极(202)之间的区域的气体导出至所述流道。

5.如权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述气动流场系统提供两种相反方向的气流循环模式，所述喷口(214)既可作为喷气喷口，也可作为吸气喷口。

6.如权利要求5所述的激光器，其特征在于，所述吸气喷口包括吸气装置。

7.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述风机(212)应外置于所述激光放电系统产生的气动流场。

8.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述温控系统包括位于所述激光放电系统的激光放电腔(201)内的散热器(231)和激光放电腔(201)外的加热装置(232)。

9.如权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述散热器(231)和所述加热装置(232)由一个外部控制器进行统一控制。