[实用新型]陶瓷覆铜板有效
申请号: | 201320062611.X | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN203120290U | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 翟克峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市佳捷特陶瓷电路技术有限公司 |
主分类号: | H05K1/03 | 分类号: | H05K1/03 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 徐勋夫 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷 铜板 | ||
技术领域
本实用新型涉及电路板及其制备方法领域技术,尤其是指一种氧化铝或氮化铝陶瓷覆铜板。
背景技术
陶瓷材料具有高的导热系数、低的介电常数、与芯片相近的热膨胀系数、高耐热及电绝缘性等特点,陶瓷材料已广泛应用电子产品及电子设备中。现有技术中,多采用在陶瓷基板上如下工艺:清洗——真空溅镀——化学沉铜——电路布线——贴干膜、曝光、显影——电镀铜加厚——化学刻蚀等工艺制成陶瓷电路板,现有技术中,在真空溅镀过程中,先溅射一层钛层后溅射一铜层,然而在实际应用中,由于钛金属特别容易钝化,而溅射镀铜层不够致密,在后续加工过程中药水浸泡时,难以确保钛层不被氧化、钝化。因此加厚镀铜层与钛层之间的附着力比较难以保证,容易出现抗剥离强度达不到要求。另外,金属钛的导热系数是15.24W/m·K,低于氧化铝陶瓷的导热系数24-28 W/m·K,更低于氮化铝陶瓷的导热系数170-230 W/m·K,这在一定程度上成为导热系数提高的瓶颈因素。而金属镍的导热系数为90.7 W/m·K。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种陶瓷覆铜板及其制备方法,所制得的陶瓷覆铜板具有优良的导电性且易于加工生产。
为实现上述目的,本实用新型采用如下之技术方案:一种陶瓷覆铜板,包括有一陶瓷基板,该陶瓷基板上依次设置钛层、镍层以及铜层,该钛层附着于陶瓷基板上,该镍层附着于钛层上,该铜层附着于镍层上。
作为一种优选方案,所述钛层的厚度为30~100纳米,所述镍层的厚度为30~100纳米,所述铜层的厚度为50~150纳米。
作为一种优选方案,所述铜层上还电镀有一铜加厚层。
作为一种优选方案,所述陶瓷基板为氧化铝陶瓷基板或氮化铝陶瓷基板。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:
通过在陶瓷基板上依次设置有钛层、镍层以及铜层,该钛层与陶瓷基板之间具有较好的附着力,该镍层与钛层及铜层之间具有很好的附着力,如此能够使得铜层与陶瓷基板的连接更加稳固以便后续加工,如刻蚀等工艺。
通过在陶瓷基板上依次溅镀钛层、镍层以及铜层后,在铜层上先通过化学沉铜的方式沉积一层薄铜,然后再继续电镀一铜加厚层,客户可以根据不同电路需求进行不同的电路设计,只需多加一道刻蚀的工艺即可得到所要的陶瓷电路板;通过本实用新型的设计,满足了客户对不同电路的电路板需求,从而有利于大批量生产,降低产品成本,提高市场竞争力。
为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明:
附图说明
图1是本实用新型之较佳实施例的工艺流程图;
图2是本实用新型之较佳实施例的陶瓷覆铜板截面图;
图3是本实用新型之较佳实施例的陶瓷电路板截面图。
附图标识说明:
10、陶瓷基板
20、铜层
30、钛层
40、镍层
50、铜加厚层。
具体实施方式
请参照图2所示,其显示出了本实用新型之较佳实施例的具体结构,:一种陶瓷覆铜板,包括有一陶瓷基板10,该陶瓷基板20上依次设置钛层20、镍层30以及铜层40,该钛层20附着于陶瓷基板10上,该镍层30附着于钛层20上,该铜层40附着于镍层30上;所述钛层20的厚度为30~100纳米,所述镍层30的厚度为30~100纳米,所述铜层40的厚度为50~150纳米;所述铜层40上还电镀有一铜加厚层50。
如图1所示,一种陶瓷覆铜板及其电路板的制备方法,包括以下步骤:
(1)清洗:对陶瓷基板10用酒精进行清洗,然后在200℃下烘烤60分钟,去除陶瓷基板表面的杂质和污渍;
(2)等离子体处理:对清洗后的陶瓷基板10表面进行等离子体蚀刻处理;
(3)真空溅镀:以真空溅镀方式在离子源蚀刻后的陶瓷基板表面依序溅射一钛层20、一镍层30以及一铜层40,所述钛层20的厚度为30~100纳米,所述镍层30的厚度为30~100纳米;该铜层40的厚度为50~150纳米;
(4)电镀加厚:在铜层40上先通过化学沉铜的方式沉积一层薄铜,然后再继续电镀一铜加厚层50,形成0.5OZ、1OZ、2OZ、3OZ等各种标准规格铜厚以及其他非标准规格铜厚的陶瓷覆铜板;
(5)线路制作:在陶瓷覆铜板上贴干膜或者印刷湿膜,然后利用菲林覆于陶瓷基板的表面上进行曝光、显影处理,以获得电路图案;
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