[实用新型]磁控溅射阴极靶材的密封结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种密封装置，具体说涉及一种用于真空磁控溅射靶阴极的密封装置。

背景技术

目前，在连续式真空磁控溅射镀膜设备上，靶材在安装过程中的密封结构非常简单，整个靶材只依靠一根长约2.73m，直径6mm的O型胶圈来密封，具体说即靶材是固定在靶背板上，靶背板与阴极座之间设有密封两者的O型胶圈，同时靶背板与阴极座之间通过60颗内六角螺钉进行固定。这种结构在实际使用过程中，容易出现以下弊端：（1）O型胶圈在频繁的拆卸过程中容易损坏，使用成本高；（2）密封区域跨度大，对靶背板上的密封面平整度要求高，而实际使用过程中，靶背板极易变形；（3）更换靶背板时，对操作人员的技能要求较高，如内六角长螺钉受力不均、O型胶圈压合不平等原因，均会造成更换过程失败，产生密封不良而漏气。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，该密封装置可以避免日常操作时对密封胶圈的频繁更换，减少日常使用成本。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连接。

本实用新型的阴极座与靶背板之间设有两个水嘴，所述的靶背板及导磁不锈钢密封板上分别设有与水嘴相配合的第一、第二安装孔。

本实用新型靶背板上的第一安装孔处焊接有固定块，固定块上设有与水嘴相配合的第三安装孔，且固定块与导磁不锈钢密封板之间固定连接。

本实用新型的第三安装孔与水嘴之间设有相密封的第二、第三密封圈。

本实用新型的固定块与导磁不锈钢密封板之间通过第一螺钉相连，所述的固定块上设有与第一螺钉相配合的螺纹孔，所述的螺纹孔与第一螺钉之间设有密封两者的第四密封圈。

本实用新型的第二安装孔与水嘴之间设有密封两者的第五密封圈。

本实用新型的固定块上分别设有与第二、第三密封圈相配合的第一、第二密封圈槽。

本实用新型的固定块上分别设有与第四密封圈相配合的第三密封圈槽。

由上述技术方案可知，本实用新型通过在阴极座与靶背板之间增设一个导磁不锈钢密封板，且该导磁不锈钢密封板与阴极座相密封固定，这样在日常对靶背板进行检查、维修等操作时，直接将靶背板与阴极座相拆卸即可，整个拆卸过程不会影响到阴极座与导磁不锈钢密封板之间的密封圈，避免了对密封圈的损害，提高了密封圈的使用寿命，减少了日常的使用成本。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是图1的B-B剖视图；

图4是本实用新型靶背板的后视图；

图5是本实用新型的爆炸结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明：

如图1-图5所示的一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，包括靶材1和阴极座2，靶材1固定在靶背板3上，靶背板3与阴极座2之间设有导磁不锈钢密封板4，导磁不锈钢密封板4与阴极座2之间设有密封两者的第一密封圈5，导磁不锈钢密封板4及靶背板3分别与阴极座2固定连接。具体说就是在靶背板3与阴极座2之间增设一个导磁不锈钢密封板4，阴极座2上设有与第一密封圈5相配合的密封圈槽，阴极座2与导磁不锈钢密封板4之间通过第一密封圈5相固定，并通过第二螺钉13紧固，使阴极座2、导磁不锈钢密封板4和第一密封圈5成为一个整体，再通过第三螺钉14将靶背板3与阴极座2的整体相固定。

阴极座2与靶背板3之间设有两个水嘴6，靶背板3及导磁不锈钢密封板4上分别设有与水嘴6相配合的第一、第二安装孔。作为本实用新型的优选方案，为了保证靶安装过程中能与外界实现真空密封的目的，在靶背板3上的第一安装孔处焊接有固定块7，固定块7上设有与水嘴6相配合的第三安装孔，第三安装孔与水嘴6之间设有相密封的第二、第三密封圈8、9，固定块7与导磁不锈钢密封板4之间通过第一螺钉12固定连接，固定块7上设有与第一螺钉12相配合的螺纹孔，螺纹孔与第一螺钉12之间设有密封两者的第四密封圈10，换句话说，固定块7相当于一个加强板的作用，在固定块7上分别设有与第二、第三、第四密封圈8、9、10相配合的第一、第二、第三密封圈槽，通过增设第二、第三、第四密封圈来实现靶材在安装过程中真正的真空密封。作为更优选的方案，第二安装孔与水嘴6之间设有密封两者的第五密封圈11。