[实用新型]一种源瓶恒温阱

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造领域，具体涉及一种源瓶恒温阱。

背景技术

在太阳能电池制造过程中，需要在硅片表面扩散形成PN结。现在大部分采用液态源进行扩散，将惰性气体或氮气通入源液(如三氯氧磷液体)中携带源的蒸汽到扩散炉管内。为确保扩散的均匀性，通常会将扩散用的液态源的源瓶设置在源瓶恒温阱中，源瓶恒温阱通过其源温调整模块将源温控制在预设范围内，从而确保扩散的稳定性。

如图1所示，装有三氯氧磷的源瓶包括短管阀V1和长管阀V2，短管阀V1通过短管P1连接至瓶体，长管阀V2通过长管P2连接至瓶体，该长管P2伸入瓶内腔底部且没入液体中，短管阀V1和长管阀V2分别具有对应的出入口G1和G2。在进行扩散工艺时，将惰性气体或氮气连接至长管阀V2的出入口G2，将短管阀V1的出入口G1连通至扩散炉管，开启短管阀V1和长管阀V2后，气体从长管阀V2进入源瓶并对瓶内的三氯氧磷液体进行鼓泡，三氯氧磷的饱和蒸汽压较高易汽化，汽化后的三氯氧磷就由气体携带至扩散炉管。

如图2所示，现有技术中的源瓶恒温阱具有基座10和设置在基座中且与源瓶相匹配的凹槽11，所述凹槽11的底面与基座10的放置面平行。如图3所示，源瓶水平放置在源瓶恒温阱中。源瓶在使用一段时间以后，随着源液的减少，气体与源液的接触面积就会逐渐变小，气体无法对源液正常鼓泡，从而使得进入扩散炉内的蒸汽逐渐变少。现有技术下，源瓶中源液使用到剩余80毫升时就需要更换新源，该剩余量约占整瓶源量的20％。从而造成较大的浪费。

因此，如何提供一种源瓶恒温阱以提高源利用率并降低生产成本，已成为业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是要提供一种源瓶恒温阱，该源瓶恒温阱可以提高源利用率，降低生产成本，并且减少有毒物质的排放，减轻环境污染。

为实现上述目的，本实用新型将提供一种源瓶恒温阱，所述源瓶恒温阱具有基座和设置在基座中且与源瓶相匹配的凹槽，所述凹槽的底面与基座的放置面间的夹角范围为5度至60度。

在上述源瓶恒温阱中，所述源瓶上设置有短管阀与长管阀，短管阀和长管阀分别通过短管和长管连接至瓶体，该长管伸入瓶内腔底部。

在上述源瓶恒温阱中，所述长管对应的一侧底面设置在所述凹槽的最底侧。

在上述源瓶恒温阱中，所述凹槽的底面与基座的放置面间的夹角为25度。

在上述源瓶恒温阱中，所述源瓶恒温阱还设置有源温调整模块。

与现有技术中源瓶恒温阱中容纳源瓶的凹槽底面与源瓶恒温阱放置面平行相比，本实用新型的源瓶恒温阱的凹槽底面与基座的放置面间的夹角的范围为5度至60度，从而使源瓶倾斜设置在其中，可以提高源利用率，降低生产成本，并且减少有毒物质的排放，减轻环境污染。

附图说明

图1为源瓶的组成结构示意图。

图2为现有技术中的源瓶恒温阱的组成结构示意图。

图3为现有技术中的放置有源瓶的源瓶恒温阱的组成结构示意图。

图4为本实用新型的源瓶恒温阱的组成结构示意图。

图5为本实用新型的放置有源瓶的源瓶恒温阱的组成结构示意图。

具体实施方案

下面结合具体实施例及附图来详细说明本实用新型的目的及功效。

参见图4和图5，本实用新型的源瓶恒温阱具有基座20、凹槽21和源温调整模块(未图示)，凹槽21设置在基座20中且与源瓶相匹配，所述凹槽21的底面与基座20的放置面间的夹角的范围为5度至60度，如此可确保源瓶倾斜设置在源瓶恒温阱中且确保源液不会未汽化而进入扩散炉。所述源温调整模块将源瓶的温度控制在预设范围内，从而确保扩散的稳定性。

如图5所示，源瓶倾斜设置在本实用新型的源瓶恒温阱中，结合参见图1，长管P2对应的一侧底面设置在所述凹槽21的最底侧。在进行扩散工艺时，将惰性气体或氮气连接至长管阀V2的出入口G2，将短管阀V1的出入口G1连通至扩散炉管，开启短管阀V1和长管阀V2后，气体从长管阀V2进入源瓶并对瓶内的三氯氧磷液体进行鼓泡，汽化后的三氯氧磷由气体携带至扩散炉管。

在本实用新型的最佳实施例中，所述凹槽21的底面与基座20的放置面间的夹角为25度。此时，源瓶中的三氯氧磷可以使用到仅剩40毫升时再进行更换，与现有技术中的用到80毫升就需要进行更换相比，大大提高了源的利用率。

综上所述，本实用新型的源瓶恒温阱的凹槽底面与基座的放置面间的夹角的范围为5度至60度，从而使源瓶倾斜设置在其中，可以提高源利用率，降低生产成本，并且减少有毒物质的排放，减轻环境污染。