[实用新型]一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台

权利要求书

1.一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，它包括运动平台(1)、基座(2)、双平行四杆机构、平移杆（3）、支撑块（4）、驱动器（5）、调整螺钉(6)，其特征在于：运动平台(1)通过双平行四杆机构与基座(2) 连接，又与平移杆（3）连接；平移杆（3）通过双边柔性铰链(7)与支撑块（4）连接；驱动器（5）两端分别与基座(2)和支撑块（4）贴合紧靠，并通过调整螺钉(6)调整预压力。

2.根据权利要求1所述的一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，其特征在于所述的双平行四杆机构由连杆(8)、连杆(9)、连杆(10)、连杆(11)组成，且对称于平台运动方向X和Y方向；双平行四杆机构通过单边柔性铰链(12)、单边柔性铰链(13)、单边柔性铰链(14)、单边柔性铰链(15)与基座(2)相连，且通过单边柔性铰链(16)、单边柔性铰链(17)、单边柔性铰链(18)、单边柔性铰链(19)与运动平台(1)相连。

3.根据权利要求2所述的一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，其特征在于所述的连杆(8)、连杆(10)分别通过单边柔性铰链(20)、单边柔性铰链(21) 与平移杆（3）相连，构成杠杆放大机构，其中单边柔性铰链(12)、单边柔性铰链(14)是固定回转端，双边柔性铰链(20)、双边柔性铰链(21)是位移输入端，单边柔性铰链(16)、单边柔性铰链(17)是位移输出端。

4.根据权利要求1所述的一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，其特征在于所述的驱动器（5）是压电陶瓷驱动器。

5.根据权利要求1所述的一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，其特征在于整个运动平台（1）是由一块材料加工而成，且对称于平台运动方向。

6.根据权利要求1所述的一种具有单边柔性铰链四杆机构的一维微动平台，其特征在于所述的柔性铰链是直圆弧型柔性铰链。