[实用新型]多晶硅还原炉罩清洗平台

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉罩清洗平台，其特征在于，所述多晶硅还原炉罩清洗平台包括：

清洗平台，该清洗平台由四根与地面垂直的厚壁矩形垂直钢管以及设置于该垂直钢管顶部的方型平台钢板和八根水平方管拉撑组成，所述清洗平台的前后左右四个面的上下两端均焊接一只拉撑；

集水箱，该集水箱安装于清洗平台上部靠近平台钢板下方处，集水箱由碳钢板以及焊接到平台上端的4根矩形钢管拉撑组成；集水箱的底部设有废气废水排放管道；

氮气烘干设备，所述氮气烘干设备包括氮气升降导杆、氮气喷头升降导套总成和氮气喷头；以及

高压水喷头升降机构，所述高压水喷头升降机构包括螺旋式升降机以及安装于螺旋式升降机中升降机螺杆旋母上的升降导杆托架，所述螺旋式升降机的上端连接集水箱的底部，所述升降导杆托架两端分别连接高压水升降导杆、氮气升降导杆和氮气喷头导向杆，高压水升降导杆和氮气升降导杆分别连接高压水升降导套总成和氮气喷头升降导套总成，高压水升降导套总成和氮气喷头升降导套总成穿过集水箱分别连接三维旋转喷头和氮气喷头，所述高压水升降导杆底部设有高压水管道进口，氮气升降导杆底部设有氮气管道进口。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉罩清洗平台，其特征在于，所述平台钢板上设有钢制垫片，钢制垫片上粘接有橡胶板，钢制垫片下部表面设有两条密封沟槽，该密封沟槽内镶嵌有圆柱形橡胶密封圈。

3.如权利要求1所述的多晶硅还原炉罩清洗平台，其特征在于，所述高压水升降导杆与高压水升降导套总成连接处以及氮气升降导杆与氮气喷头升降导套总成连接处均设有密封装置。