[发明专利]用于对均匀照射物品成像的装置

说明书

相关申请

本申请要求2012年10月10日由Ahner等提交的美国临时专利申请No.61/712，186的权益。

技术领域

本发明一般涉及光学领域，尤其涉及用于对均匀照射物品成像的装置。

背景技术

可以对生产线上制造的物品的某些特征进行检查，包括缺陷，例如颗粒和着色污染，刮痕和空洞，这些缺陷可能降低物品或者包括该物品的系统的性能。例如，针对微粗糙度，例如凹陷或隆起之类的缺陷，和/或污染对在视觉上光滑的硬盘执行最终检查。

发明内容

这里提供了装置，包括：反射表面，配置用于将光子反射到物品的表面；配置用于支承物品的平台(stage)；以及组件。在某些实施例中，组件配置用于穿过物品向反射表面发射光子。组件进一步配置用于采用光子的辐照对物品成像。

本发明的这些和其他特点及方面参考如下附图、说明书和附加附加权利要求可以更好的理解。

附图说明

图1示出根据实施例的配置用于产生均匀照射物品的图像的装置。

图2示出根据一个实施例的配置成均匀照射物品的组件。

图3示出根据某些实施例的透镜的折射率分布。

图4示出根据一个实施例的配置用于通过在一段时间间隔内向物品投射光子来产生均匀照射物品的图像的装置。

图5示出根据一个实施例的投射在物品表面上的基于光子的形式的鹰眼透视图。

图6示出根据一个实施例投射在物品表面上的基于光子的形式的鹰眼透视图。

具体实施方式

在详细说明不同实施例之前，本领域技术人员应当理解实施例并不由于这些实施例中的元件变化而是限制性的。同样应当理解的是这里说明和/或表示的一个特定实施例具有的元件已经与特定实施例分离，并且可选择的可以与其他若干实施例合并或者替代这里所述的其他若干实施例中的元件。

本领域技术人员应当理解这里所使用的术语目的在于描述发明的概念，并且术语并不是用于限制。除非特意说明，普通数字(例如，第一，第二，第三等)用于区分或者确认一组元件或者步骤中的不同元件或步骤，并不是对其中实施例中的元件和步骤施加系列的或数字的限制。例如，“第一”，“第二”和“第三”元件或步骤无需按照这一顺序出现，并且相关的实施例无需限定到三个元件或步骤。应当理解，除非特别说明，任何标记，例如“左”，“右”，“前”，“后”，“顶端”，“底部”，“向前”，“反转”，“顺时针”，“逆时针”，“上”，“下”或者其他类似术语例如“上部”，“下部”，“之后”，“之前”，“垂直”，“水平”，“接近”，“远离”等的使用是为了方便而不是用于暗示，例如，特殊固定位置，方位或方向。也应当理解单数形式“一”，“一个”和该”包括复数参考，除非背景清楚的指示。

除非定义，这里所使用的所有技术和科学术语具有和实施例所涉及技术领域内技术人员通常理解含义相同的意义。

某些实例中，通过照相机对物品成像执行缺陷探测和检查。为了区分不同类型的特征，通过光子发射器适当照亮物品。然而，放在物品上方的光子发射器会引起相机捕获的反射光和/或漫射光，从而阻碍检测某些特征和缺陷的能力。另外，根据光子发射器相对于物品的角度和位置，照射在物品上的光子数量分布不均匀，也会引起某些特征和缺陷不会被检测到。因此，这里提供了配置采用均匀的照射来为物品成像的设备，以及管理反射光和漫射光的布置。

这里所述的某些实施例中，装置配置用于定位物品来在(1)光子发射器与(2)反射表面和相机之间成像。在这种布置中，采用均匀照射的物品在没有检测到反射光子，反射光，漫射光子和/或漫射光的情况下成像，从而导致同类型特征和缺陷的更大可检测性以及检查。例如，高功率光源通过硬盘中心将光投射到锥形镜上，将投射的光反射到硬盘的表面上。该实例中，通过将光从光源投射到锥形镜，而不是直接投射到硬盘表面，锥形镜的角度和弯曲度用于管理漫射光和从硬盘表面反射的光。特别地，锥形镜可以配置有特定角度和弯曲度，其防止相机检测和记录漫射光以及从表面反射的光。采用这种方式，通过产生更细节以及那些物品特征更清晰的图像，基本上不会被漫射光和物品(例如，硬盘，反射表面，介质，溅射面等)表面反射光阻碍，基于图像的检测得以改善。