[发明专利]输送车及AMHS系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种输送车及AMHS系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

一般而言，一个AMHS系统中有多辆输送车同时运行，并通过总控制单元发出指令控制它们的行驶路径，若控制单元等发生故障，难以避免两辆输送车发生碰撞。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种输送车及AMHS系统。

为实现上述目的，本发明提供一种用于AMHS系统的输送车，其包括车身、悬吊于轨道上的车轮、升降机构、硅片盒取放机构和控制单元，其中，该输送车的车身内还设有短距离信号发射器和短距离信号接收器，该短距离信号发射器用于向其周围的输送车发射信号，该短距离信号接收器用于接收其周围输送车发出的信号，该短距离信号接收器与控制单元信号连接，该控制单元与车轮的制动单元和/或加速单元信号连接。

进一步地，该短距离信号发射器的发射半径为1-5m，该短距离信号接收器的接收半径为0.01-1m。

进一步地，该输送车车身的前后两侧各设有一个短距离信号发射器。

进一步地，该输送车车身的前后两侧各设有一个短距离信号接收器。

进一步地，该短距离信号发射器是红外线发射器，该短距离信号接收器是红外线接收器。

本发明还提供一种AMHS系统，其包括多个机台、轨道结构、至少一辆上述输送车以及总控制单元。

本发明的输送车通过设置短距离的信号发射器和信号接收器，当附近有其他输送车靠近时，接收到其他输送车发射的信号，并传输给本输送车的控制单元，控制单元驱动制动单元或加速单元作出制动动作，或计算两车距离变化，作出相应动作，可以有效避免两车相撞，提高了AMHS系统的安全可靠性。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是现有自动化物料传输系统的结构示意图；

图2是本发明输送车第一实施例的结构模块示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图2，图2示出了第一实施例中输送车的结构模块示意图，该输送车包括车身11、悬吊于轨道上的车轮12、升降机构13、硅片盒取放机构14和控制单元15，其中，该输送车的车身11内还设有短距离信号发射器21和短距离信号接收器22，该短距离信号发射器21用于向其周围的输送车发射信号，该短距离信号接收器22用于接收其周围输送车发出的信号，该短距离信号接收器22与控制单元15信号连接，该控制单元15与车轮12的制动单元16和加速单元17信号连接。

本实施例中，短距离信号发射器为红外线发射器，其发射半径为3m，短距离信号接收器为红外线接收器，其接收半径为0.5m。

第二实施例

本实施例中，AMHS系统具有多个机台、轨道结构、至少一辆第一实施例的输送车以及总控制单元。

其中，本实施例的输送车在其车身的前后两侧各设有一对红外线发射器和红外线接收器。当总控制单元发生故障，输送车A的行驶路径上恰好有输送车B正在执行拾取硅片盒的动作，当输送车A靠近输送车B，并输送车A车头的红外线接收器接收到输送车B红外线发射器发出的信号，输送车A的控制单元立即驱动制动单元进行制动动作，避免与输送车B相撞。