[发明专利]电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置有效
| 申请号： | 201310733941.1 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104746023A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张小波;赵升升;王玉河 | 申请（专利权）人： | 深圳市微普诺薄膜技术有限公司;深圳市速普仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电机 闭环控制 磁控溅射 平面 阴极 装置 | ||
1.一种电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，包括平面磁控阴极模块、控制电机模块及闭环控制模块；
所述平面磁控阴极模块包括磁路模块、靶材；所述控制电机模块包括电机、电机驱动模块及编码模块；所述电机驱动模块分别连接所述电机及所述编码模块，所述闭环控制模块分别连接所述控制电机模块和所述平面磁控阴极模块；所述电机通过螺杆与所述磁路模块连接，所述电机驱动模块控制所述电机的转向和转速，使与所述电机连接的所述磁路模块沿所述靶材法线方向移动；所述闭环控制模块采集所述平面磁控阴极模块的溅射阴极的溅射电源信号作为反馈信号，控制所述编码模块将反馈信号编码为所述电机驱动模块驱动所述电机转速和转向的控制信号，所述电机驱动模块按所述控制信号驱动所述电机，使与所述电机连接的所述磁路模块与所述靶材表面的距离在所述靶材寿命周期内保持动态不变。
2.根据权利要求1所述的电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，所述平面磁控阴极模块包括圆形平面磁控阴极模块和矩形平面磁控阴极模块。
3.根据权利要求1所述的电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，所述电机为步进电机或伺服电机。
4.根据权利要求1所述的电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，所述电机驱动所述磁路模块沿所述靶材法线方向前后移动。
5.根据权利要求1所述的电机闭环控制磁控溅射平面阴极装置，其特征在于，所述闭环控制模块采集所述平面磁控阴极模块的溅射阴极的溅射电源的电压或电流信号。
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