[发明专利]一种化学机械抛光液

权利要求书

1.一种化学机械抛光液，其特征在于，含有二氧化铈研磨颗粒，一种或多种化学添加剂及水。

2.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的化学添加剂为一种或多种含氮化合物。

3.如权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的含氮化合物为唑类化合物和胍类化合物。

4.如权利要求3所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的唑类化合物为三氮唑和/或四氮唑。

5.如权利要求4所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的三氮唑和四氮唑选自苯并三氮唑、5‐甲基‐1，2，3‐苯并三氮唑、5‐羧基苯并三氮唑、1‐羟基‐苯并三氮唑、1，2，4‐三氮唑、3‐氨基‐1，2，4‐三氮唑、4‐氨基‐1，2，4‐三氮唑、3，5‐二氨基‐1，2，4‐三氮唑、5‐羧基‐3‐氨基‐1，2，4‐三氮唑、3‐氨基‐5‐巯基‐1，2，4‐三氮唑、5‐乙酸‐IH‐四氮唑、5‐甲基四氮唑、5‐氨基‐IH‐四氮唑、1‐苯基‐5‐巯基‐四氮唑、5‐氨基四氮唑中的一种或多种。

6.如权利要求3所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的胍类化合物为单胍、双胍、聚胍类化合物及其酸加成盐。

7.如权利要求6所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的单胍类化合物及其酸加成盐选自胍、碳酸胍、乙酸胍、磷酸氢二胍、盐酸胍、硝酸胍、硫酸胍、氨基胍、氨基胍碳酸氢盐、氨基胍磺酸盐、氨基胍硝酸盐或氨基胍盐酸中的一种或多种；双胍类化合物或其酸加成盐选自双胍、二甲双胍、苯乙双胍、1，1’‐己基双[5_(对氯苯基）双胍或吗啉胍、上述化合物的酸加成盐或6‐脒基‐2‐萘基4胍基苯甲酸酯甲基磺酸盐中的一种或多种，且所述酸为盐酸、磷酸、硝酸、醋酸、葡萄糖酸或磺酸；所述的聚胍或其酸加成盐为聚六亚甲基胍、聚六亚甲基双胍、聚（六亚甲基双氰基胍‐六亚甲基二胺）或其酸加成盐，且所述的酸为盐酸、磷酸、硝酸、醋酸、葡萄糖酸或磺酸，聚胍类化合物或其酸加成盐的聚合度为2～100。

8.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的氧化铈研磨颗粒粒径为150～300纳米。

9.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的氧化铈研磨颗粒的浓度为质量百分比0.1～1%。

10.如权利要求2所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的含氮化合物的浓度为质量百分比0.1～1%。

11.如权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于，其中所述的化学机械抛光液的pH值为10～12。