[发明专利]一种真空镀膜生产线用旋转门阀

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用旋转门阀。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。

在真空镀膜生产线中，需要真空环境镀膜，这样一般情况时，会保持生产线的进出口处完全封闭，通常采用分别设置有门阀，在基片进出生产线时，该门阀会相应的打开。在现有技术中，通常采用人工操作此门阀的开关，即通过其他设备接收到基片进出的信号（或计算基片在基片传送流水线和镀膜流水线运行的时间）后，人工打开生产线进口或出口的门阀。然而，因为不能很准确接收基片进出的信号，且人为控制的动作有一定的延迟性，通常不能很及时的打开进口和出口的门阀，这样使生产效率降低。此外，真空镀膜生产线对真空的环境要求非常高，这样真空腔室的门体的厚度会增加，相应地，生产线进口和出口的门阀的厚度增加，人工操作控制的难度增加。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种真空镀膜生产线用旋转门阀，该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和出口，采用气动机构驱动门阀旋转，当基片进出镀膜流水线时，控制进口和出口的开关。

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

一种真空镀膜生产线用旋转门阀，包括：

一门阀组件，门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，门阀连接件连接门阀和旋转轴；和

一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，驱动组件包括一气缸和一驱动器，驱动器连接气缸和旋转轴，驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，第一驱动轴与气缸连接，第二驱动轴与旋转轴连接，第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。

优选地，该旋转门阀进一步包括一驱动组件，两组驱动组件分别与门阀组件的两端连接，两组驱动组件同步驱动门阀组件中的门阀旋转，这样使门阀的旋转更平稳。

优选地，气缸中包括一齿条和一齿轮，齿条带动齿轮旋转，齿轮与第一驱动轴连接。

更优选地，气缸中齿条带动齿轮旋转的角度为0～180度，齿轮带动第一驱动轴的角度为0～180度。

更优选地，气缸中齿条带动齿轮旋转的角度为0～180度，齿轮带动第一驱动轴的角度为0～95度。

优选地，第一驱动轴和第二驱动轴与驱动轴套活动连接。

更优选地，第一驱动轴和第二驱动轴与驱动轴套通过键连接，第一驱动轴通过驱动轴套带动第二驱动轴旋转。

更优选地，驱动轴套进一步包括一驱动轴套内孔、两驱动轴套键槽和两驱动轴套键，驱动轴套内孔与两驱动轴套键槽连通，两驱动轴套键槽设置在驱动轴套的两端部，驱动轴套键槽的宽度与驱动轴套键一致，驱动轴套键设置在驱动轴套内。

优选地，第一驱动轴进一步包括一第一驱动轴第一端部、一第一驱动轴第二端部和第一驱动轴体，第一驱动轴体连接第一驱动轴第一端部和第一驱动轴第二端部，第一驱动轴第一端部与气缸连接，第一驱动轴第二端部套入驱动轴套内。

更优选地，第一驱动轴第二端部设有第一驱动轴键槽，第一驱动轴键槽的宽度与驱动轴套键一致。

优选地，第二驱动轴进一步包括一第二驱动轴第一端部、一第二驱动轴第二端部和第二驱动轴体，第二驱动轴体连接第二驱动轴第一端部和第二驱动轴第二端部，第二驱动轴第一端部套入驱动轴套内，第二驱动轴第二端部与旋转轴连接。

更优选地，第二驱动轴第一端部设有第二驱动轴键槽，第二驱动轴键槽的宽度与驱动轴套键一致。

优选地，第二驱动轴与旋转轴活动连接，第二驱动轴带动旋转轴旋转。

更优选地，旋转轴进一步在两端部分别设有一旋转轴连接端，第二驱动轴第二端部进一步设有第二驱动轴连接端，旋转轴通过两端的旋转轴连接端分别与两组驱动组件中第二驱动轴的第二驱动轴连接端连接。