[发明专利]一种真空镀膜生产线用基片运输装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用基片运输装置。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的材料被称为基片，镀的材料被称为靶材。

现有技术中传送车的传动需要随着传送车的移动提供足够长的电线与电机连接才能驱动传送车，电线太多和太长，会使整条生产线杂乱五章，给安全生产带来很大安全隐患，且传送车的移动路线不确定，会导致传送车传送不准确，使整条生产线的效率降低。

基片需要可拆卸稳固安装后再通过传送车传送，因此传送车上需要有特殊的安装装置，然而申请号为201020541208.1的专利中公开的小车结构在运输真空镀膜材料时会对镀膜材料造成损害，破坏镀膜的效果。并且该小车结构只适用安装一种规格的基片，然而市场需求不同，这样需要不同规格的基片镀膜时，该小车结构就需要全部更换，这样浪费人力物力。因此如何在真空镀膜领域生产线上配置一种既能安全传送基片又能可调节安装基片的基片运输装置是一亟需解决的技术问题。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种真空镀膜生产线用基片运输装置，该基片运输装置既能安全传送基片又可调节安装基片，且结构简单，适合安装各种不同规格的基片。

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

一种真空镀膜生产线用基片运输装置，包括：

一传送系统，传送系统包括轨道和至少一个传送车，传送车在轨道上运行，传送车进一步包括一车架、一车轮对、一电驱动件、一升压变压器和至少两个电极引入件，车轮对在轨道上运行，车架固定在车轮对上，电驱动件与车轮对电连接，电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在车架上；和

一装片系统，装片系统安装在传送系统的车架上，装片系统包括一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。

优选地，轨道上带电且电压不大于36V，优选为24V，两电极引入件的一端与轨道电连接，两电极引入件的另一端与升压变压器电连接，升压变压器同时与电驱动件电连接。

优选地，车架包括相连的上车架和下车架装片系统安装在上车架上，下车架与车轮对固定连接，电驱动件与车轮对电连接，电驱动件、升压变压器和电极引入件安装在下车架上。

优选地，传送车上进一步包括一传送座，通过传送座传送装片系统，传送座进一步包括一传送电机、至少两个传送元件和一传送带，传送电机与电驱动件电连接，传送电机与至少一个传送元件电连接，且两个传送元件经所述传送带传送驱动，传送电机带动传送元件同步运动。传送元件优选为传送轮。

优选地，固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板，第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架，第一支撑杆和第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域；调节组件安装在固定组件上，调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件，定位件可拆卸的安装在调节梁上，调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上。

更优选地，导槽区域进一步包括一导槽和一安置区，导槽设置在安置区内，导槽呈竖直方向。

更优选地，安置区的长度不小于导槽的长度，安置区的宽度不小于导槽的宽度。

更优选地，导槽区域包括第一导槽区域和第二导槽区域，第一导槽区域的面积大于第二导槽区域。

更优选地，固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域，中心导位区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中间。

更优选地，调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，横梁的两端连接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于横梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。

优选地，定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安装在一调节梁上，第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上，第一定位元件的安装位置高于第二定位元件。