[发明专利]超声波清洗的方法及其装置

权利要求书

1.一种装置，其包括：

基本圆形的池，其包括顶部、底部和设置在它们之间的侧壁，所述池被配置为包含清洗流体并接收浸没在所述清洗流体中的基本平坦的物件；

多个清洗流体入口，其用于输送清洗流体至所述池，每个清洗流体入口至少部分地设置在靠近所述池的所述底部的所述侧壁；

中间支撑件，其用于接收基本为平坦的物件，所述中间支撑件被配置为将在所述池中的基本平坦的物件保持在所述多个清洗流体入口的上方和在设置在靠近所述池的所述顶部的所述侧壁的多个流体出口的下方；

超声波发生器，其耦合到所述池，用于在所述池和被接收在其中的清洗流体中产生超声波；

其中，所述中间支撑件包括上部支撑面和与所述上部支撑面相对的基底结构，并且被构造以限定（i）在所述池的内圆周和所述中间支撑件的实质上的全部外圆周之间的基本连续的外圆周流体间隙；（ii）所述中间支撑件的中间圆周和由所述中间支撑件的所述上部支撑面支撑的基本平坦的物件之间的基本不连续的内圆周流体间隙；以及（iii）多个径向清洗流体通道，该多个径向清洗流体通道从所述中间支撑件的所述外圆周通过所述中间支撑件的所述基底结构延伸到所述中间支撑件的内圆周；以及

其中所述装置被配置成从所述清洗流体入口接收清洗流体，从所述基本平坦的物件除去颗粒，和引导清洗流体的流，使得所除去的所述颗粒通过所述流体出口从所述基本平坦的物件带走并离开所述池。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述中间支撑件被构造成使得当设置在所述池中时，所述支撑件的所述底座结构接触所述池的所述底部，使得所述多个清洗流体入口被设置在所述多个径向清洗流体通道内。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述清洗流体入口选自喷嘴喷射器、扇形喷射器以及它们的组合。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述清洗流体入口是成角度的喷嘴喷射器。

5.根据权利要求4所述的装置，其包括4个成角度的喷嘴喷射器，每一个具有20°的偏移角度。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述4个成角度的喷嘴喷射器围绕所述池侧壁的所述圆周等距离地间隔开。

7.根据权利要求3所述的装置，其中，所述清洗流体入口是多槽的扇形喷射器。

8.根据权利要求7所述的装置，其包括两个7槽的扇形喷射器，每个槽被配置为引导清洗流体呈180°的扇形。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述两个7槽的扇形喷射器围绕所述池侧壁的所述圆周等距离地间隔开。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述装置被配置为接收和清洗等离子体处理室窗。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述装置被配置为接收所述窗，使得所述窗的面向等离子体的面被定向为面向所述池的底部。