[发明专利]预警系统及光学设备

权利要求书

1.一种预警系统，用于过滤系统的更换预警，其特征在于，所述预警系统包括：

用于提供测试入射光的光源模块；

用于接收经过滤系统过滤后的过滤气体和反射所述测试入射光的接收模块，所述测试入射光传输至所述接收模块，并经所述接收模块反射获得测试反射光；

用于将所述测试反射光的功率与所述测试入射光的功率进行对比，根据对比结果判断需要更换所述过滤系统时则发出警告的控制模块。

2.如权利要求1所述的预警系统，其特征在于，所述接收模块用于接收所述过滤气体的表面设置有涂层，所述涂层能够对所述测试入射光进行镜面反射。

3.如权利要求1所述的预警系统，其特征在于，所述过滤气体从所述过滤系统的气体出口流出，所述接收模块设置于距离所述气体出口0.3至1mm处。

4.如权利要求3所述的预警系统，其特征在于，所述接收模块用于接收所述过滤气体的表面与所述过滤气体流动方向之间呈40至50度夹角。

5.如权利要求1至4任一项所述的预警系统，其特征在于，所述光源模块包括：

用于发出激光光束的激光发射器；

用于将所述激光光束进行分光，形成为传输至所述接收模块的所述测试入射光和传输至所述控制模块的第一测试透射光的分光镜，其中所述分光镜设置于所述激光光束的传输光路上。

6.如权利要求5所述的预警系统，其特征在于，所述分光镜为半反射镜，所述测试入射光与所述第一测试透射光的功率相同。

7.如权利要求1至4任一项所述的预警系统，其特征在于，所述控制模块包括：

用于接收所述第一测试透射光，并计算所述第一测试透射光功率的第一功率传感器；

用于接收所述测试反射光，并计算所述测试反射光功率的第二功率传感器；

用于将所述第一功率传感器与所述第二功率传感器的计算结果进行比较，获得测试比值的控制器；

用于根据所述测试比值，判断需要更换所述过滤系统时则发出警告的报警器。

8.如权利要求7所述的预警系统，其特征在于，所述报警器包括获取所述测试比值，当所述测试比值大于预定数值时，则作出判断结果为需要更换所述过滤系统，并发出警告的警告模块。

9.如权利要求8所述的预警系统，其特征在于，所述警告模块包括当所述测试比值大于第一预定数值时，发出一级警告的第一警告子模块；以及当所述测试比值大于第二预定数值且小于所述第一预定数值时，发出二级警告的第二警告子模块；其中所述第一预定数值大于所述第二预定数值，所述一级警告级别高于所述二级警告级别。

10.如权利要求7所述的预警系统，其特征在于，所述测试入射光沿与所述接收模块用于接收所述过滤气体的表面相垂直的方向入射至所述接收模块，获得所述测试反射光，所述测试反射光经过所述分光镜之后形成第二测试透射光并传输至所述第二功率传感器。

11.如权利要求7所述的预警系统，其特征在于，所述控制器与所述第一功率传感器、所述第二功率传感器和/或所述报警器之间通过有线或无线连接。

12.一种光学设备，包括过滤系统和光学元件，其特征在于，还包括如权利要求1至11任一项所述的预警系统。

13.如权利要求12所述的光学设备，其特征在于，所述预警系统中的所述接收模块用于接收所述过滤气体的表面设置有涂层，所述涂层与所述光学设备中的光学元件表面的材料相同。

14.如权利要求12所述的光学设备，其特征在于，所述光学设备为曝光机。