[发明专利]一种薄膜热敏电阻及其阻值调节方法

权利要求书

1.一种薄膜热敏电阻，包括绝缘衬底(1)，设置在绝缘衬底(1)上的一对电极对，以及从一对电极中的至少一个上伸出用于阻值调节的金属性图案；其特征在于：

所述设置在绝缘衬底(1)上的电极对包括第一电极(2)和第二电极(3)，所述的第一电极(2)包括均具有重复凹凸结构特征的第一分支(2a)和第二分支(2b)，所述第一分支(2a)的凹部正对于第二分支(2b)的凹部，且第一分支(2a)的凸部正对于第二分支(2b)的凸部；所述的第二电极(3)包括具有重叠“工”字形结构特征的工字形分支(3a)，所述工字形分支(3a)的横端的两端分别穿插于第一电极(2)上第一分支(2a)的凹部中和第二分支(2b)的凹部中；所述第一电极(2)和第二电极(3)的几何中心线相重合，并以该几何中心线呈对称结构；

所述的金属性图案具有用于切削的切割部，所述的切割部包括至少一个用于微调阻值的微调切割部(5)和至少一个用于粗调阻值的粗调切割部(4)，所述的粗调切割部(4)穿插于第一电极(2)上第一分支(2a)的凸部中和/或第二分支(2b)的凸部中。

2.根据权利要求1所述的薄膜热敏电阻，其特征在于：还包括一层覆盖在所述的电极对之上以及切削用切割部的一部分之上的热敏膜(6)。

3.根据权利要求2所述的薄膜热敏电阻，其特征在于：还包括设置于热敏膜(6)之上的保护膜(7)。

4.调节权利要求1～3中任一项所述薄膜热敏电阻的阻值的方法，包括以下步骤：

在绝缘衬底(1)上形成一对电极对以及用于阻值调节的金属性图案，在电极对之上以及切削用切割部的一部分之上形成一定厚度的热敏膜(6)，所述热敏膜(6)的厚度根据实验统计值并经过计算得出；在形成该热敏膜(6)时，控制形成的热敏膜(6)的阻值稍低于热敏膜(6)的目标阻值；

其次，测量上述已形成热敏膜(6)的样品的阻值，根据测得的阻值，比较与目标阻值的偏差，如果偏差较大，则通过切削金属性图案的粗调切割部(4)进行粗调电阻；如果偏差较小，则通过切削金属性图案的微调切割部(5)进行微调电阻，从而将电阻调至所需的值；

最后，在经过阻值调整的样品上形成保护膜(7)。