[发明专利]一种具有双温控制功能的加热器的加工方法

权利要求书

1.一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，

其特征在于:加工步骤如下：

采用高均匀度的铝合金加热器主体；

采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管；

加热管安装入加热器主体；由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封；

d.采用双接口热电偶，插入加热器主体带U形沟槽面的中央孔中，精确测量控制加热器温度；

e.冷却加热管道设置在加热管上表面；分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热；

f加热器上加工密封面，保证生产时腔室的真空度。

2.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤a.采用高均匀度的铝合金加热器主体为: （a）使用直径260mm的6061铝合金，切割，挤压成直径125mm；（b）切割锻造到设计图纸尺寸；（c）热处理；（d）微观结构检测均匀度。

3.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤b. 采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管为: （a）加热管的外圈采用耐热镍铬铁合金；（b）控制加热管内部加热丝的电阻值在13.2Ω-16.2Ω之间；（c）通过循环测试，在100度到500度之间循环，每个循环时间为1小时，保证加热器的温度均匀。

4.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤c. 加热管安装入加热器主体，由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封: （a）加热器主体加工放置加热管的沟槽，沟槽截面为U型；（b）在加热管的出口处设计成圆弧过渡形状，对加热管起导向作用，确保加热器主体与加热管全程紧密贴合；（c)使用考虑气体的膨胀系数的双层盖板焊接，保证加热器的密封性。

5.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤d. 采用双接口热电偶，插入加热器主体带U形沟槽面的中央孔中，精确测量控制加热器温度: （a）专门设计的K型双接头热电偶，带有两种接头；（b）一路接头连接温度显示仪，方便观测调整温度，另一路连接温度控制装置，精确控制温度。

6.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤e.冷却加热管道设置在加热管上表面； 分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热加热器；通过控制系统准确快速调节加热器温度，实现不同工作温度的快速转换。

7.根据权利要求1所述的一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:所述的步骤f. 加热器上加工密封面，保证生产时腔室的真空度:打磨研磨密封面，和腔体上的密封圈紧密配合，保证腔室的真空度快速实现。