[发明专利]晶圆多次测试数据的整合方法

权利要求书

1.一种晶圆多次测试数据的整合方法，用于整合测试系统中存储的若干批次晶圆的多次测试数据，所述测试系统包括制造执行系统和整合系统，其特征在于，包括如下步骤：

S1，在对所述测试系统中存储的任一批次晶圆的测试数据进行整合时，根据所述制造执行系统实时记录的该批晶圆的信息，由所述整合系统判断当前批次晶圆中是否有晶圆被拆分；

S2，在判定当前批次晶圆中有晶圆被拆分时，由所述整合系统去除当前批次晶圆中被拆分的晶圆的所有测试数据；

S3，由所述整合系统对当前批次晶圆中每个晶圆的多次测试数据根据测试时该晶圆采用的测试程式种类的不同进行整合，得到每个晶圆的测试数据整合结果。

2.如权利要求1所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，还包括：

S2’，在判定当前批次晶圆没有晶圆被拆分时，直接进行步骤S3。

3.如权利要求1或2所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S3中，由所述整合系统对当前批次晶圆中的每个晶圆的多次测试数据根据该晶圆测试时采用的测试程式种类的不同分别进行整合。

4.如权利要求1或2所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述测试程式种类的不同为测试矩阵的不同或测试参数数量的不同。

5.如权利要求4所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述测试矩阵的不同为测试点数量的不同或测试点位置的不同。

6.如权利要求5所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S3中，当所述测试点数量和所述测试参数数量相同，所述测试点位置不同时，由所述整合系统将当前批次晶圆中的每个晶圆根据不同测试程式种类得到的多次测试数据一起进行整合。

7.如权利要求1所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S1中，所述制造执行系统实时记录的该批晶圆的信息为该批晶圆的ID。

8.如权利要求1所述的晶圆多次测试数据的整合方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述对每个晶圆的多次测试数据进行整合是取每个晶圆的在每种测试程式下测试时间最晚的一次测试数据。