[发明专利]液体喷射装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及打印机技术，尤其涉及一种液体喷射装置及其制造方法。 

背景技术

打印机的液体喷射装置是通过压电元件和振动板的变形，使压力腔室的体积发生变化，从而将压力腔室中的墨水从喷孔喷出。 

现有的一种液体喷射装置包括基底、设置在基底第一面上的振动板和压电元件以及粘接在基底第二面（与第一面相对的一面）上的喷孔板。现有的液体喷射装置的制造方法是：在基底的第一面形成振动板和压电元件，在基底的第二面通过蚀刻工艺，在该基底上蚀刻出多个与压电元件位置相对应的存储液体的压力腔室以及与供墨孔位置相对应的公共腔室，最后，在基体的第二面粘结喷孔板，使喷孔板上的多个喷孔分别与各个压力腔室连通。该液体喷射装置在工作时，压电元件在电压驱动下产生变形，并传递给振动板引起压力腔室体积变化，使得压力腔室中的液体从喷孔中喷出而完成打印。 

但是，为了提高打印机的打印分辨率，需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量，由于现有的液体喷射装置的压力腔室是在基底上蚀刻形成，增加压力腔室数量需要减小相邻压力腔室的侧壁厚度，因而必然会导致作为基底的硅片的机械强度下降，在制造过程中容易出现基底破损而使液体喷射装置的成品率降低，制造成本较高；另一方面，由于喷嘴板是通过粘合剂粘接在压力腔室的基底上，若粘合剂流入压力腔室中，也会影响到打印质量。 

发明内容

本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，用于解决现有技术中液体喷射装置制造方法制造出的液体喷射装置成品率低、制造成本较高且打印质 量较差的技术缺陷。 

本发明提供的一种液体喷射装置制造方法，包括： 

在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件； 

在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。 

本发明还提供一种液体喷射装置，该液体喷射装置是用上述的液体喷射装置制造方法制造的。 

本发明提供的液体喷射装置及其制造方法，是在基底的第一表面上一体成形与压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在基底上单独一体成形压力腔室，因而不会减小基底的机械强度，在制造过程中可以避免基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。 

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种液体喷射装置制造方法的流程图； 

图2为图1中步骤200的一种具体实施方式的流程图； 

图3为图1中步骤100的一种具体实施方式的流程图； 

图4为本发明实施例提供的另一种液体喷射装置制造方法的流程图； 

图5为本发明实施例制造的液体喷射装置的结构示意图； 

图6A-图6F为本发明实施例中步骤200的一种具体实施方式的产品制造过程结构视图； 

图7A-图7G为本发明另一实施方式的产品制造过程结构视图； 

图8A-图8C为本发明又一实施方式的产品制造过程结构视图； 

图9A-图9B为本发明再一实施方式的产品制造过程结构视图。 

具体实施方式

图1为本发明实施例提供的一种液体喷射装置制造方法的流程图，如图1所示，本实施例提供的液体喷射装置制造方法，包括： 

步骤100，在基底上形成多个间隔设置的压力发生部件。 

步骤200，在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应 的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。 

具体地，图2为图1中步骤200的一种具体实施方式的流程图；如图2所示，步骤200，在基底的第一表面上一体成形与多个所述压力发生部件对应的压力腔室、与所述压力腔室连通的喷孔以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，可以包括： 

步骤201，在基底第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置。 

具体地，图5为本发明实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；图6A-图6F为本发明实施例中步骤200的一种具体实施方式的产品制造过程结构视图，如图5和6A所示，基底1可以为硅基底，基底1第一表面为图中所示基底1的上表面，可以在基底1第一表面上悬涂腔室层5a，腔室层5a的材料可以为具有良好机械加工性能的负性光敏胶SU8，腔室层5a可以涂满整个基底1上表面，腔室层5a的厚度与压力腔室和公共腔室的高度尺寸相匹配。