[发明专利]一种WAT测试头的布置方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试领域，尤其涉及一种新型的WAT测试头的布置方法。

背景技术

在WAT日常的测试过程中，存在许多不同制程的产品，在量测过程中需要使用不同的程式进行量测，并伴随着更换探针卡的动作。而现有的探针机台设计仅可容纳单张探针卡，所以更换探针卡的动作相当频繁，对产能的利用率造成损失。并且，现有的探针机台为单张卡设计，在测试不同制程的产品时需要不断更换探针卡，每次更换探针卡的时间大约5分钟，按一天需测试10种不同制程的产品为例，更换探针卡的时间总和为50分钟，一个月的更换总时间为25小时，这在满产能运作的情况下会极大的浪费产能。

中国专利WAT探针卡智能处理系统及方法（公开号CN103336256A）公开了一种WAT探针卡智能处理系统及方法，该系统包括如下步骤：实时记录并统计探针卡扎针次数；检测探针卡的累积扎针次数；判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则进入下一步；发出提示信息。然而该发明并未针对WAT检修作业时，测试头的具体位置给予技术方案。

发明内容

针对上述技术缺陷，本发明在现有只能容纳单张探针卡的机台设计基础上进行改进，提供一种WAT机台同时放置多张探针卡的方法，其特征在于，包括：步骤S1：提供多个圆形探针卡套依次安装在WAT机台的轮盘的圆周上；步骤S2：将所述多个探针卡依次通过探针卡传输装置放置到所述轮盘的所述多个圆形探针卡套中；步骤S3：提供转轴与轮盘的圆心处连接，以转动所述轮盘的方式更换所述探针卡。

上述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其中，将所述轮盘以垂挂的方式悬挂在WAT的机壳顶部。

上述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其中，所述探针卡的形状与圆形探针卡套的形状相匹配。

上述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其中，所述多个圆形探针卡套的数量十个。

综上所述本发明的有益效果是：本发明增加多个探针卡存放空间，利用转盘的方式进行自动更换探针卡，可以自主选择所需要使用的探针卡，缩短换卡时间，提高机台产能利用率。

附图说明

图1为本发明中的轮盘在WAT机壳上的位置与运动方式的结构示意图；

图2为本发明的轮盘的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

如图1和图2所示，由于探针卡1在探针机台（未在附图中标记）中是固定在机壳5顶端，为单一探针卡套，将单一探针卡套改成轮盘设计，在轮盘3的圆周上安装多个探针卡套4。以转动的方式进行更换探针卡2，轮盘3以垂挂的方式悬挂在机壳5顶部，在初始情况下轮盘3上的探针卡套4均为空置，需要将多张卡2依次用探针卡传输装置1将其安放到轮盘的探针卡套4中，在每张探针卡2安放到轮盘3上的探针卡套4后，机台会对探针卡2进行识别卡号，并与相应的探针卡套4序号关联起来，当系统（未在附图中标记）识别到当前调用的程式需要使用的探针卡2类型时，会查找记录中对应的探针卡套4中的探针卡2的卡号，寻找匹配的探针卡2，当寻找到匹配的探针卡2后，轮盘3会将此探针卡2旋转至测试头7正下方，并与测试头7相连，之后可进入正常测试。

优选的，所述探针卡2的形状与圆形探针卡套4的形状相匹配。

优选的，所述多个圆形探针卡套的数量十个，这是出于符合实际生产测试中工时的考虑，提高效率的同时，符合经济运营成本。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不予赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。