[发明专利]一种WAT测试头的布置方法无效
| 申请号： | 201310612727.0 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103645356A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 许一峰;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 wat 测试 布置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种WAT机台同时放置多张探针卡的方法，其特征在于，包括：
步骤S1：提供多个圆形探针卡套依次安装在WAT机台的轮盘的圆周上；
步骤S2：将所述多个探针卡依次通过探针卡传输装置放置到所述轮盘的所述多个圆形探针卡套中；
步骤S3：提供转轴与轮盘的圆心处连接，以转动所述轮盘的方式更换所述探针卡。
2.如权利要求1所述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其特征在于，将所述轮盘以垂挂的方式悬挂在WAT的机壳顶部。
3.如权利要求1所述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其特征在于，所述探针卡的形状与圆形探针卡套的形状相匹配。
4.如权利要求1所述的WAT机台同时放置多张探针卡方法，其特征在于，所述多个圆形探针卡套的数量为十个。
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