[发明专利]铌管靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201310596413.6 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104651787A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 穆健刚;张凤戈;马志伟;文彬;王江廷;李建奎;刘健;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;张向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铌管靶材 制造 方法 | ||
1.一种铌管靶材的制造方法，其特征在于，以铌锭为原料，依次包括一次机械加工步骤、加热步骤、扩内孔步骤、挤压步骤、热处理步骤以及二次机械加工成成品步骤，其中：
在所述一次机械加工步骤中，按挤压要求将原料加工成含内孔的圆柱形锭坯；
在所述加热步骤中，在经一次机械加工后的锭坯表面涂覆抗氧化涂料，然后于900～1350℃保温0.5～2小时；
在所述挤压步骤中，将已扩内孔的锭坯在900～1350℃保温0.1～0.5小时后进行挤压成型，变形量不小于70%；
在所述热处理步骤中，将挤压成型后的铌荒管在真空或惰性气氛下，在900～1350℃保温0.5～3小时，然后随炉冷却。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述一次机械加工步骤中，所述锭坯的长度不大于1100mm，内孔直径为50～60mm。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述内孔直径为55～60mm。
4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述加热步骤和所述挤压步骤中的加热方式是电阻加热或感应加热。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述挤压步骤中，所述变形量为75%-85%。
6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述原料铌锭是采用真空熔炼方法获得的。
7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，扩内孔前后锭坯的内孔直径比为1：2～4。
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