[发明专利]一种气路系统的显示方法和装置在审
申请号: | 201310581737.2 | 申请日: | 2013-11-18 |
公开(公告)号: | CN104656454A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 梁小祎 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | G05B15/02 | 分类号: | G05B15/02 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 系统 显示 方法 装置 | ||
1.一种气路系统的显示方法,其特征在于,所述气路系统包括气体管道和气路仪器,所述方法包括:
在预置的绘制窗口中,采用线条展现所述气体管道的排布;其中,所述线条携带有相对坐标的信息;
在所述线条上添加气路控件的展现,所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态;
采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置;
在所述显示位置展现所述线条和气路控件。
2.根据权利要求1所述的气路系统的显示方法,其特征在于,所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器;
所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。
3.根据权利要求2所述的气路系统的显示方法,其特征在于,所述气路系统包括多条特征气路,所述特征气路对应有复用气路模块进行展现;所述复用气路模块包括十二路线条,所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性;所述管道显示属性包括显示和不显示;所述排空阀显示属性包括显示和不显示;
所述在预置的绘制窗口中,采用线条展现所述气体管道的排布的步骤包括:
配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性;
当所述线条的管道显示属性为显示时,则显示所述线条;
当所述线条的管道显示属性为不显示时,则不显示所述线条;
所述在所述线条上添加气路控件的展现的步骤包括:
配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性;
当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时,则在所述线条上展现对应的排空阀控件;
当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时,则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。
4.根据权利要求1或2或3所述的气路系统的显示方法,其特征在于,所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性;
所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性;
所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性;
所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性;
所述方法还包括:
配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性;
按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。
5.根据权利要求1或2或3所述的气路系统的显示方法,其特征在于,所述采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置的步骤包括:
分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值,获得高度比和宽度比;
将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比,获得在所述显示位置的真实坐标。
6.一种气路系统的显示装置,其特征在于,所述气路系统包括气体管道和气路仪器,所述装置包括:
气体管道展现模块,用于在预置的绘制窗口中,采用线条展现所述气体管道的排布;其中,所述线条携带有相对坐标的信息;
气路仪器展现模块,用于在所述线条上添加气路控件的展现,所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态;
显示位置计算模块,用于采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置;
线条和气路控件展现模块,用于在所述显示位置展现所述线条和气路控件。
7.根据权利要求1所述的气路系统的显示装置,其特征在于,所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器;
所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。
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