[发明专利]一种石英坩埚磨具车装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种石英坩埚系统领域，特别是涉及一种石英坩埚磨具车装置。

背景技术

真空电弧法生产石英坩埚设备是目前世界上生产坩埚最先进的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。主要是采用电弧为热源，离心成型为基础，融化预先成型的高纯石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚装置。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种石英坩埚磨具车装置，主要是由石墨磨具1、水冷套2、多孔石墨底座3、倾动台4、旋转轴5和电机6组成，所述石墨磨具1外层套一层水冷套2，所述石墨磨具1的底部装有多孔石墨底座3，所述多孔石墨底座3置于倾动台4上；所述倾动台5的下部装有电机6；

进一步地，所述电机6通过带轮I及带轮II连接旋转轴5;水冷套2和石墨模具1形成一个内腔；旋转轴5上装有一穿过水冷套2和石墨模具1中心孔与所述内腔相通形成的真空管道；石墨模具1有微气孔。通过水冷套2内的石墨模具旋转，以实现石墨模具内的石英粉均匀成型，再通过电极放电产生高温将石英粉熔化成坩埚。

本发明采用模具车平台上安装倾动台及模具水套，由推杆驱动实现模具的进给到隔音壁内的打埚位置和退出到坩埚成型后的出埚位置。

附图说明

图1为本发明的示意图。

具体实施方式

参照图1中，本发明采用的技术方案为一种石英坩埚磨具车装置，主要是由石墨磨具1、水冷套2、多孔石墨底座3、倾动台4、旋转轴5和电机6组成，所述石墨磨具1外层套一层水冷套2，所述石墨磨具1的底部装有多孔石墨底座3，所述多孔石墨底座3置于倾动台4上；所述倾动台5的下部装有电机6；

进一步地，所述电机6通过带轮I及带轮II连接旋转轴5;水冷套2和石墨模具1形成一个内腔；旋转轴5上装有一穿过水冷套2和石墨模具1中心孔与所述内腔相通形成的真空管道；石墨模具1有微气孔。通过水冷套2内的石墨模具旋转，以实现石墨模具内的石英粉均匀成型，再通过电极放电产生高温将石英粉熔化成坩埚。

以上所述，仅是本发明的实施例，并非对本发明作任何限制，凡是根据本发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。