[发明专利]一种石英坩埚磨具车装置在审
| 申请号： | 201310579463.3 | 申请日： | 2013-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN104649569A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 祝军武;高喜梅;张新丽 | 申请（专利权）人： | 西安艾力特电子实业有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 710065 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 磨具 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英坩埚磨具车装置，其特征在于：主要是由石墨磨具（1）、水冷套（2）、多孔石墨底座（3）、倾动台（4）、旋转轴（5）和电机（6）组成，所述石墨磨具（1）外层套一层水冷套（2），所述石墨磨具（1）的底部装有多孔石墨底座（3），所述多孔石墨底座（3）置于倾动台（4）上；所述倾动台（5）的下部装有电机（6）。
2.如权利要求1所述一种石英坩埚磨具车装置，其特征在于：所述电机（6）通过带轮I及带轮II连接旋转轴（5）;水冷套（2）和石墨模具（1）形成一个内腔；旋转轴（5）上装有一穿过水冷套（2）和石墨模具（1）中心孔与所述内腔相通形成的真空管道；石墨模具（1）有微气孔。
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