[发明专利]一种砂箱冷却式多线切割机

说明书

技术领域

本发明涉及多线切割机，具体地说涉及一种砂箱冷却式多线切割机。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。现有多线切割机使用的磨料是液态的油与碳化硅的混合物。工件加工精度受磨料影响，其影响因素一是磨料的温度变化，根据热胀冷缩原理，磨料温度变化越大，研磨时工件的加工精度就会越低；二是磨料的液态均匀度，在磨料不均的情况下加工，会对工件的表面粗糙度和加工精度造成很大的影响。而影响磨料温度变化的原因：一是在进行反复研磨的过程中产生大量的热量，二是磨料在砂箱中也会受到外界温度的影响；因此，需要一种新的技术方案来解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的是针对以上不足，提供一种砂箱冷却式多线切割机，该多线切割机通过对砂箱结构的改进，能有效的控制磨料的温度和均匀度，从而排除由于磨料温度和均匀度对加工件尺寸的影响。

本发明采用的技术方案是，一种砂箱冷却式多线切割机，包括砂箱和冷却机构，所述的砂箱上设置有搅拌泵、砂浆泵、砂浆出口、观察口盖和回砂口滤网，所述的搅拌泵上安装叶轮；所述的冷却机构包括油冷机、温度计、外圈管路和内圈管路，所述的外圈管路和内圈管路串联后由管路卡夹固定在砂箱内，所述串联后的外圈管路和内圈管路端头分别设置有入油口和回油口，所述入油口和回油口分别通过管路与油冷机相连，形成循环，所述管路卡夹上有若干卡槽，卡槽将内圈管路和外圈管路之间，每个相邻的管路隔开并固定；叶轮由叶片组成，叶片之间形成均等角度。

本发明的有益效果是，一种砂箱冷却式多线切割机，通过对砂箱结构的改进，使冷却机构一直在设定的温度下运行，油冷机内的冷却油也一直在设定的温度下，在内圈管路和外圈管路内循环冷却磨料，温度计全程监测砂箱内磨料的温度，有效的控制磨料的温度和均匀度，从而排除由于磨料温度和均匀度对加工件尺寸的影响，保证了工件质量，提高了生产效率。

 附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细描述。

图1为图3中A-A剖视图。

图2为砂箱冷却式多线切割机的侧视图。

图3为砂箱冷却式多线切割机的俯视图。

图4为管路卡件结构示意图。

图5为叶轮结构示意图。

图中：1.砂箱，2 .冷却机构，3 .搅拌泵，4 .叶轮，5 .砂浆泵，6 .砂浆出口，7 .温度计，8 .观察口盖，9 .油冷机，10 .入油口，11.回油口，12.外圈管路，13.内圈管路，14.管路卡夹，15.回砂口滤网，16.油管，17.卡槽，18.叶片。

具体实施方式

参照附图，图中A-A是图1的剖视图，一种砂箱冷却式多线切割机，包括砂箱1和冷却系统2，所述砂箱1上设置有搅拌泵3、砂浆泵5、砂浆出口6、观察口盖8和回砂口滤网15，所述搅拌泵3上安装叶轮4，所述冷却机构2包括油冷机9、温度计7、外圈管路12和内圈管路13，所述外圈管路12和内圈管路13串联后由管路卡夹14固定在砂箱1内，所述串联后的外圈管路12和内圈管路13的端头分别设置有入油口10和回油口11，所述入油口10和回油口11通过油管16与油冷机9相连，使冷却油形成循环，所述管路卡件14上有很多卡槽17，将内圈管路12和外圈管路13之间，每个相邻的管隔开并固定；叶轮4由叶片18组成，叶片之间形成均等角度；将所需的磨料注入砂箱1，由搅拌泵3带动叶轮4将磨料搅拌均匀，将搅拌均匀的磨料，通过砂浆泵5和砂浆出口6供给设备进行加工，冷却机构2一直在设定的温度下运行，因此，油冷机9内的冷却油也一直在设定的温度下，在内圈管路12和外圈管路13之间循环冷却磨料，温度计7全程监测砂箱1内磨料的温度，超出设定范围时报警，然后设备停机。