[发明专利]远程管理方法

说明书

技术领域

本发明关于一种远程管理方法；具体而言，本发明关于一种可远程的监控及管理异常设备的远程管理方法。

背景技术

一般而言，半导体等产品通过加工程序制造形成，其制造程序可包含各种不同步骤，如扩散步骤、氧化步骤、光刻步骤及离子布植等步骤。每一步骤可能持续重复的被执行及/或以一特定的顺序进行，且每个步骤可能需要于特定的设备，以特定的制造环境进行。

在制造过程中，为确保半导体产品能顺利的被生产，每个步骤的状况及环境条件必须严谨时常地被监控，以避免因设备发生异常及/或环境条件超出标准范围，造成制造生产大量的瑕疵品。然而，由于传统的监控系统仅是以警报声来警告现场的监控操作人员，操作人员无法能即时的判断出异常的根源、状况及紧要性，且现场环境也许有可能掺了各种其他杂音而造成不能轻易听见警报声的情况。

为解决上述问题，美国专利号US6,401,003B3提供一种用于半导体机台的灯号警报系统，以警告现场操作人员设备异常或环境变差的情况。该灯号系统包含于操作人员可视的范围内，于各设备附近设置一灯柱，用于显示设备及/或环境的状况。请参阅图1，图1是美国专利号US6,401,003B3的灯号警报系统电路路线的一示意图。如图1所示，灯号警报系统的电路包含多个信号输入A至D。经由逻辑组合器10的组合器34的运算，将会产生输出信号Q1、Q2及Q3。信号输出Q1至Q3分别传送至驱动单元12、14及16后，驱动单元12、14及16将会选择性的驱动灯柱24的灯号18、20及22。灯柱24的灯号18、20、及22各为不同颜色的灯，其中每个颜色或颜色的组合可代表设备或环境的不同(异常)状况。例如，图1中的灯柱24的灯号18、20及22可分别为黄、绿及红色。通过此灯柱警报系统，当附近的操作人员看到灯柱显示异常状况，操作人员可据此进行故障设备的维修或调整。

然而，在一般工厂或半导体厂的生产环境下，因为对生产机台的环境的温度、湿度或是粉尘微粒等条件要求甚高，操作人员可能无法长时间靠近设备因此也无法虽时确认设在设备附近的灯柱的状况。或者是操作人员所管制的设备数量过多而使得操作人员没有第一时间发现到有异常状况等情况，为协助操作人员并防止上述的情况发生，势必需要提出一个能监控并即时对异常状况做出反应的远程管理系统，以提高对异常状况的处理的效率。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种远程管理方法，以从异地监控设备的异常状况，进而提供即时异常状况处理的功能。

本发明的另一目的在于提供一种远程管理方法，可提供不同设备间的信号传输的接口转换服务。

本发明提供一种远程管理方法，用以管理一或多台被供设备，该一或多台被控设备位于一第一位置，该远程管理方法至少包含下列步骤：在该第一位置提供一远程管理装置，以该远程管理装置连接该一或多台被控设备，该远程管理装置可经由网络耦接至一中控电脑，该中控电脑位于一第二位置，以使该中控电脑可由该第二位置控制该一或多台被控设备；以该远程管理装置撷取该一或多台被控设备所输出的一或多个第一影像信号，并将该一或多个第一影像信号进行影像处理以得到一或多笔影像数据；经由网络将该一或多笔影像数据传送至该中控电脑；将该一或多笔影像数据转换为一中控端影像信号，并以屏幕分割方式一并显示于该中控电脑的一或多个屏幕上，其中每一该被控设备可对应于一个屏幕分割区域；根据该一或多台被控设备中的一异常设备，以及对应于该异常设备的一警报信号，迭加或标记一颜色区块于该异常设备所对应的屏幕分割区域。