[发明专利]具有射频识别装置的探针卡

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件测试技术领域，尤其涉及一种具有射频识别装置的探针卡。

背景技术

目前，晶圆可接受测试（Wafer Accepted Test,WAT）过程中所使用的探针卡种类繁多，不同产品使用不同类型的探针卡。为了识别所述探针卡，通常地，在所述探针卡上设置射频识别（Radio Frequency Identification,FRID）装置。

但是，现有的射频识别装置结构较大，并设置在所述探针卡具有导线引出的边缘部位，限制了所述探针卡的适用性。同时，由于所述射频识别装置占用空间较大，当所述探针卡需检修时，通常先卸载所述射频识别装置，之后重新安装。然而，在所述探针卡检修过后，由于人为疏忽，时常造成不同类型的射频识别装置混淆，难以区别；或者忘记安装；或者安装后在转移过程中脱落。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种具有射频识别装置的探针卡。

发明内容

本发明是针对现有技术中，所述传统的探针卡检修过后，由于人为疏忽，时常造成不同类型的射频识别装置混淆，难以区别；或者忘记安装；或者安装后在转移过程中脱落等缺陷提供一种具有射频识别装置的探针卡。

为实现本发明之目的，本发明提供一种具有射频识别装置的探针卡，所述具有射频识别装置的探针卡包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚设置在所述测试端子之内圈，并在所述探针引脚内形成所述装载区；射频识别装置，所述射频识别装置固定设置在所述装载区上。

可选地，所述具有射频识别装置的探针卡之装载区内设置射频识别装置之容置空间，并将所述射频识别装置固定设置在所述装载区之容置空间内。

可选地，所述射频识别装置为射频识别芯片。

可选地，所述射频识别装置的大小可根据所述装载区之容置空间的大小进行设计。

可选地，所述装载区无引线导出。

综上所述，本发明通过在所述探针引脚内设置用于固定所述射频识别装置的装载区，并采用射频识别芯片作为所述射频识别装置，不仅外观小巧、携带便利，而且在所述具有射频识别装置的探针卡检修过程中无需拆卸，避免因拆卸导致的人为疏忽。

附图说明

图1所示为本发明具有射频识别装置的探针卡的结构示意图。

具体实施方式

为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。

请参阅图1，图1所示为本发明具有射频识别装置的探针卡之结构示意图。所述具有射频识别装置的探针卡1包括：探针卡板（Prober Card Board,PCB）11，所述探针卡板11用于承载所述功能测试端子；测试端子12，所述测试端子12分布设置在所述探针卡板11的圆周边沿；探针引脚13，所述探针引脚13设置在所述测试端子12之内圈，并在所述探针引脚13内形成所述装载区14；射频识别装置15，所述射频识别装置15固定设置在所述装载区14上。

作为本发明之具体实施方式，优选地，在所述具有射频识别装置的探针卡之装载区14内设置射频识别装置15之容置空间141，并将所述射频识别装置15固定设置在所述装载区14之容置空间141内。更具体地，所述射频识别装置15为射频识别芯片。作为所述射频识别装置15的射频识别芯片之大小可根据所述装载区14之容置空间141的大小进行设计。

作为本领域技术人员，容易理解地，所述射频识别装置15固定设置在所述探针引脚13内的装载区14上，由于所述装载区14无引线导出，故而在所述装载区14内设置容置空间141，并固定设置所述射频识别装置15，将不会对所述WAT测试造成影响。

综上所述，本发明通过在所述探针引脚内设置用于固定所述射频识别装置的装载区，并采用射频识别芯片作为所述射频识别装置，不仅外观小巧、携带便利，而且在所述具有射频识别装置的探针卡检修过程中无需拆卸，避免因拆卸导致的人为疏忽。

本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。