[发明专利]激光切割装置及切割方法

权利要求书

1.一种激光切割装置，其特征在于，所述激光切割装置包括：

激光发射模块；

聚焦透镜； 

多焦点透镜，紧贴所述聚焦透镜设置，所述多焦点透镜在激光光束的光路上设置在所述激光发射模块与所述聚焦透镜之间，所述激光光束通过所述多焦点透镜和所述聚焦透镜，在所述激光光束传播方向上形成多个具有间距的焦点。

2.根据权利要求1所述的一种激光切割装置，其特征在于，所述多焦点透镜包括上表面和下表面，所述上表面和所述下表面设置为平面，所述多焦点透镜上有若干狭缝，所述狭缝呈圆环设置。

3.根据权利要求2所述的一种激光切割装置，其特征在于，所述若干狭缝呈同心设置。

4.根据权利要求1所述的一种激光切割装置，其特征在于，所述激光切割装置还包括反射镜，所述反射镜在激光光束的光路上设置在所述激光发射模块和所述多焦点透镜之间。

5.根据权利要求1所述的一种激光切割装置，其特征在于，所述激光切割装置还包括工作台，所述工作台包括：X轴传送单元、Y轴传送单元和基板 ；其中，所述X轴传送单元包括X轴滑轨和控制所述X轴滑轨运动的电机；所述Y轴传送单元包括Y轴滑轨和控制所述Y轴滑轨运动的电机，所述Y轴传送单元安装于所述X轴传送单元的X轴滑轨上，所述基板设置于所述Y轴传送单元的Y轴滑轨上。

6.根据权利要求1所述的一种激光切割装置，其特征在于，所述激光切割装置还还包括Z轴传送单元，所述Z轴传送单元包括Z轴滑轨和控制Z轴滑轨运动的电机，所述多焦点透镜和所述聚焦透镜安装在所述Z轴滑轨上。

7.一种激光切割方法，其特征在于，所述切割方法包括以下的步骤：

将激光发射模块发出的激光光束导入多焦点透镜和聚焦透镜；

调整所述多焦点透镜、聚焦透镜以及透明材料的相对位置，以在透明材料内部形成多个在激光光束传播方向上具有间距的焦点。

8.根据权利要求7所述的激光切割方法，其特征在于，所述“调整所述多焦点透镜、聚焦透镜以及透明材料的相对位置”具体为：

通过Z轴电机调整安装于Z轴滑轨上的多焦点透镜和聚集透镜的位置。

9.根据权利要求7所述的激光切割方法，其特征在于，所述方法还包括：

在X方向和Y方向移动承载所述透明材料的工作台，在透明材料内部形成细丝阵列。

10.根据权利要求9所述的激光切割方法，其特征在于，所述步骤还包括：

以透明材料内部形成的细丝阵列作为分离路径，通过机械力将所述透明材料分离。