[发明专利]一种新型镍模板的制备方法无效
| 申请号： | 201310541745.4 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103576446A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;袁长胜 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 模板 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型镍模板的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
a)利用相干光曝光制备纳米压印母模板A；
b)将防粘处理好的纳米压印母模板A表面浇铸一层PDMS，在80℃的真空烘箱中放置4个小时进行固化；
c)揭模，得到与母模板A结构互补的PDMS软模板B，再利用物理气相沉积方法在PDMS软模板B的结构那一面蒸镀一层金属镍；
d)将蒸镀镍的PDMS软模板B放入电镀液中电镀，得到镍镀层；
e)揭模除去电镀完样品背面的PDMS支撑层，即可得到复制了母模板A结构的镍模板C。
2.根据权利要求1所述的一种新型镍模板的制备方法，其特征在于，所述步骤c)中金属镍的厚度为60nm。
3.根据权利要求1或2所述的一种新型镍模板的制备方法，其特征在于，所述步骤d)中，电镀时间为12h，镍镀层的厚度为300μm-500μm。
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