[发明专利]曝光及显影设备以及曝光及显影方法

权利要求书

1.一种曝光及显影设备，包括：

边缘曝光装置，用于对基板的边缘进行曝光；

显影装置，用于对曝光后的基板进行显影，该边缘曝光装置位于该显影装置的入口处；

其中，该基板在被输送至该显影装置的过程中，被该边缘曝光装置进行边缘曝光。

2.如权利要求1所述的曝光及显影设备，其中，该边缘曝光装置包括：

边缘曝光机，其边缘与该基板的边缘对齐设置；

CCD影像处理器，与该边缘曝光机连接，用于撷取该基板和边缘曝光机边缘的影像，并通过该影像测定该基板的偏移量；及

驱动装置，与该边缘曝光机和CCD影像处理器连接，该驱动装置根据该基板的偏移量驱动边缘曝光机移动，以补偿该偏移量。

3.如权利要求2所述的曝光及显影设备，其中，该驱动装置包括伺服马达、丝杠、螺母及螺母座，该丝杠与该伺服马达的输出端连接，当该伺服马达启动时，该丝杠旋转，连接于该丝杠的螺母在该丝杠上直线运动，进而带动固定于该螺母上的螺母座直线运动，该边缘曝光机和CCD影像处理器设置于该螺母座上。

4.如权利要求1所述的曝光及显影设备，其中，该曝光及显影设备包括两组边缘曝光装置，其对应于该基板的两长边设置。

5.如权利要求4所述的曝光及显影设备，其中，该两组边缘曝光装置共用一个驱动装置，该驱动装置上分别对应于该基板的两长边各设有一组边缘曝光机和CCD影像处理器，该驱动装置驱动该两组边缘曝光装置沿相同的方向移动相同位移量。

6.如权利要求1所述的曝光及显影设备，还包括：主体曝光机，用于对基板的主体进行曝光；基板输送机构，用于输送来自该主体曝光机的基板；传送装置，用于将来自该主体曝光机的基板传送至该基板输送机构；及基板导正装置，其设置于该基板输送机构的两侧，用于导正在该基板输送机构上输送的基板，以使该基板的边缘与该边缘曝光装置对齐。

7.如权利要求6所述的曝光及显影设备，该基板导正装置为一对设置于该基板输送机构的两侧的弧形板，该对弧形板的距离渐缩，在靠近该边缘曝光装置的一端，该对弧形板的距离等于该基板的短边长度。

8.一种曝光及显影方法，该方法包括以下步骤：

步骤1：对基板的主体进行曝光；

步骤2：由基板输送机构将该基板输送至显影装置；

步骤3：由边缘曝光装置对基板的边缘进行曝光；

步骤4：由该显影装置对曝光后的基板进行显影。

9.如权利要求8所述的曝光及显影方法，其中，该步骤3还包括：进行边缘曝光的过程中，由CCD影像处理器撷取该基板的边缘的影像，并通过该影像测定该基板的偏移量，并根据该基板的偏移量驱动边缘曝光装置的边缘曝光机移动，以补偿该偏移量。