[发明专利]一种快速循环气冷真空炉

权利要求书

1.一种快速循环气冷真空炉，其特征在于，所述气冷真空炉包括真空炉（1）、快速循环气冷系统和抽气阀（8），其中，所述快速循环气冷系统包括：

截止阀（2）；

水冷管道（3），设置在真空炉（1）的两侧回路中；

压力传感器（4），设置在水冷管道（3）上；

充气阀门（7），所述充气阀门（7）与压力传感器（4）的配合控制循环气体的用量和所述真空炉（1）的腔室内压力；

罗茨泵（5），所述罗茨泵（5）与所述抽气阀（8）构成抽真空部分，用于所述真空炉（1）的腔室的快速抽真空；所述截止阀（2）与抽气阀（8）配合切换所述罗茨泵（5）的工作模式，使其分别处于抽真空模式和循环气冷两种模式。

2.根据权利要求1所述的气冷真空炉，其特征在于，所述真空炉（1）的炉腔内压力在（1）00~（2）0000Pa范围内变动。

3.根据权利要求2所述气冷真空炉 ，其特征在于，所述真空炉（1）的两侧开口与罗茨泵（5）的进气口和出气口串联成回路，在真空炉（1）的两侧回路中还设置了热交换装置。

4. 根据权利要求3所述气冷真空炉，其特征在于，所述快速循环气冷系统还包括变频电机（6），所述变频电机（6）驱动所述罗茨泵（5）并且控制罗茨泵（5）的转速，使得所述罗茨泵（5）在获得足够的压缩比的同时能够维持在合理的转速。