[发明专利]一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，具体是一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统。

背景技术

公知的，MEMS加速度传感器一般被分为压阻式、压电式、谐振器式、电容式、热电偶式、光纤式和电磁式等等，其中压阻式加速度传感器以动态响应特性及输出线性度较好、制作成本低、工艺简单等优点被广泛应用；在MEMS压阻式加速度传感器制造时，需要在晶圆阶段对其进行测试；而目前的测试手段比较单一，采用人工的方式用万用表对晶圆逐个测量，效率低下，而现有的自动测试装置中，测试手段单一，仅仅能够判断出被测体的好坏，不能得到被测体的性能参数，仍然无法满足测试的多种需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统，该检验系统能够对MEMS压阻式加速度传感器晶圆进行自动智能检测，并且能够直观地显示被检测传感器晶圆的性能参数。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统，包括固定连接MEMS压阻式加速度传感器晶圆的探针台及与探针台相连的MCU模块，MCU模块外围设有与其相连的计算机、矩阵开关电路与A/D转换模块；矩阵开关电路外围分别连接有电流源电路与信号调理电路，矩阵开关电路还与探针台相连；所述测试装置还包括为MCU模块、矩阵开关电路、电流源电路、信号调理电路与A/D转换模块供电的直流稳压电源。

进一步地，所述MCU模块采用STM32F103VET6芯片。

进一步地，所述MCU模块与计算机之间采用MAX3232芯片构成的RS232接口进行连接。

进一步地，所述A/D转换模块采用ADS8330芯片。

进一步地，所述矩阵开关电路采用一组TS5A3359芯片构成。

上述方案中，MCU模块为成熟的微处理器，能够对输入的信号智能化分析处理；矩阵开关电路是成熟的多路复用器产品，能够对不同的信号源进行切换；信号调理电路采用放大、隔离与滤波的方式将传感器晶圆反馈的微电流信号转换成可读的有效信号，使其适合于A/D转换模块的输入；A/D转换模块即模拟量转换数字量模块，为常用的电子元件；电流源电路即恒流源，提供恒定的静态电流；计算机作为监控终端用于操控测试过程和显示测试结果。

本发明的有益效果是，给MEMS压阻式加速度传感器晶圆施加电流源激励，通过MCU模块对传感器晶圆反馈的电信号进行处理，进而将被检测传感器晶圆的性能参数在计算机上进行显示。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的电路原理框图；

1.MCU模块；2.矩阵开关电路；3.电流源电路；4.信号调理电路；5.A/D转换模块；6.直流稳压电源；7.计算机；8.探针台；9. MEMS压阻式加速度传感器晶圆。

具体实施方式

如图1所示，探针台8用于固定连接MEMS压阻式加速度传感器晶圆9，MCU模块1外围设有与其相连的计算机7、矩阵开关电路2与A/D转换模块5；矩阵开关电路2外围分别连接有电流源电路3与信号调理电路4，矩阵开关电路2还与探针台8相连； MCU模块1、矩阵开关电路2、电流源电路3、信号调理电路4与A/D转换模块5通过直流稳压电源6供电；本实施例中，探针台8采用PT302型探针台，MCU模块1采用STM32F103VET6芯片，MCU模块1与计算机7之间采用MAX3232芯片构成的RS232接口进行连接，A/D转换模块5采用ADS8330芯片，矩阵开关电路2采用一组TS5A3359芯片构成。