[发明专利]一种真空镀膜室无效

专利信息
申请号: 201310491811.1 申请日: 2013-10-21
公开(公告)号: CN103498130A 公开(公告)日: 2014-01-08
发明(设计)人: 关秉羽 申请(专利权)人: 辽宁北宇真空科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 铁岭天工专利商标事务所 21105 代理人: 靳万清
地址: 112000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种真空镀膜室。

背景技术

现有技术中的真空镀膜室,主要包括镀膜室罐体,镀膜室罐体底部具有罐体安装支架,镀膜室罐体内设有筒形弧形板安装转架,筒形弧形板安装转架具有筒体,使用真空镀膜室对板材镀膜时是将板材卷曲成弧形,几张弧形板围成一个圆桶形搭接在所述安装转架外圆周上,上述现有技术中的真空镀膜室在对板材镀膜时首先需要通过真空泵将镀膜室罐体内的气体抽走,使镀膜室罐体内达到一定的真空度,由于镀膜室罐体内的空间较大,使用真空泵抽真空的时间相对较长,真空泵的功率也较大。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种当使用真空泵抽镀膜室罐体内的气体时,即使真空泵的功率相对较小、但镀膜室罐体内也能够在较短时间内达到所需真空度的真空镀膜室。

为解决上述技术问题,本发明一种真空镀膜室,包括镀膜室罐体,镀膜室罐体底部具有罐体安装支架,镀膜室罐体内设有筒形弧形板安装转架,筒形弧形板安装转架具有筒体,所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒。

采用上述结构的真空镀膜室,由于所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒,当使用真空泵抽镀膜室罐体内的气体时,相当于少抽了所述气密封空心筒所占空间体积的气体,因此即使采用功率较小的真空泵也能在相对较短的时间内使镀膜室罐体内达到所需要的真空度,由于可以采用较小功率的真空泵,所以使用本发明的真空镀膜室对板材镀膜时节约了电能,提高了效率,降低了真空泵的采购成本。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步地详细说明。

图1是本发明一种真空镀膜室的主剖视结构示意图。

图2是本发明一种真空镀膜室的侧剖视结构示意图。

图3是本发明一种真空镀膜室的镀膜室罐体内的筒形弧形板安装转架的立体结构示意图。

具体实施方式

 参见图1-图3,本发明一种真空镀膜室包括镀膜室罐体1,镀膜室罐体1底部具有罐体安装支架2,镀膜室罐体1内设有筒形弧形板安装转架3,筒形弧形板安装转架3具有筒体4,所述筒形弧形板安装转架3的筒体4内固定装有与该筒体4形状相配合的气密封空心筒5。

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