[发明专利]用于光刻机镜头的远心测量装置及方法

权利要求书

1.一种用于光刻机镜头的远心测量装置，其特征在于，包括：

一光学散射器件，用于将所述光刻机的照明装置的出射光散射为各角度均匀出射的散射光；

一针孔标记，所述针孔标记位于所述镜头的物方视场内；

一能量传感器，用于测量所述针孔标记成像的中心位置。

2.如权利要求1所述的远心测量装置，其特征在于，当所述光刻机有多个镜头，每个所述镜头的物方视场内对应包括至少一个针孔标记，所述能量传感器的数量及位置与所述针孔标记相对应。

3.如权利要求2所述的远心测量装置，其特征在于，所述光刻机多个镜头组成镜头单元。

4.如权利要求3所述的远心测量装置，其特征在于，所述每个镜头下有对应的2个所述针孔标记，所述针孔标记组成针孔标记阵列，所述能量传感器的数量及位置与所述针孔标记相对应，组成能量传感器阵列。

5.如权利要求1所述的远心测量装置，其特征在于，所述光学散射器件为毛玻璃。

6.一种用于光刻机镜头的远心测量装置的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

使用光学散射器件使物镜充满以排除照明系统位置偏差影响； NA至少两个镜头时使用能量传感器测量光锥轮廓以确定光锥中心位置； 在不同的垂向位置处测量光锥轮廓以确定光锥中心位置； 使用不同垂向位置处测量得到的光锥中心位置计算光轴倾斜； 根据光轴倾斜调整物镜光轴位置； 卸载散射器件； 使用能量传感器测量光锥轮廓以确定光锥中心位置； 在不同的垂向位置处测量光锥轮廓以确定光锥中心位置； 使用不同垂向位置处测量得到的光锥中心位置计算光束主光线方向； 根据主光线方向调整照明位置。

7.如权利要求6所述的远心测量方法，其特征在于，当所述光刻机仅有一个镜头时，所述镜头的物方视场内仅包括一个针孔标记。

8.如权利要求6所述的远心测量方法，其特征在于，当所述光刻机包括至少两个镜头时，每个镜头的物方视场内均包括两个针孔标记。