[发明专利]用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的轨道和输送车组件。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统，其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备（STOCKER）和一个或多个空中升降机输送车（Overhead Hoist Transport，简称OHT），用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器，例如前端开口片盒（Front Opening Unified Pod，简称FOUP），随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。输送车一般是通过非接触供电方式供电，其工作原理就是在轨道的一侧铺设特殊的线缆，输送车通过切割这个线缆产生的磁力线获得供电。

其中，所有的这些传输都是基于悬垂在天花板上的轨道来实现，而随着硅片尺寸的变大，300mm硅片盒正向450mm的尺寸发展，硅片盒FOUP的重量在增加，因此对OHT输送车的承载能力及稳定性提出了新的要求。现有的悬吊式输送车大多采用安装在车顶的车轮悬吊在轨道上行驶。考虑到轨道上需要保留空间来安装连接杆，以将轨道固定在AMHS空间的天花板，车轮只能安装在轨道顶面靠近两侧的地方，使得车轮与轨道的接触面有限。随着硅片盒重量的增加，这一不足可能会产生安全性隐患。

综上所述，需要提出一种新的悬吊式轨道和输送车来提高输送车的承载能力并提高其悬吊在轨道上的稳定性和安全性。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件。

为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其包括悬空设置的轨道和悬吊于轨道上的输送车，该轨道的一个侧面设有向输送车供电的线缆，该输送车包括车身、车轮、硅片盒取放机构以及连接机构，该车身顶部具有供轨道穿过的槽，该槽的两侧具有车轮安装部，该车轮设置在车轮安装部上，该输送车悬吊于轨道上行驶时车轮轮面抵贴轨道的顶面并滚动，该车身槽侧与该线缆对应位置还设有取电装置并与线缆组成供电组件，该连接机构分别连接车身与硅片盒取放机构，其中，在该输送车车身的槽底面位置的车身内设有磁性部件，在该轨道的底面设置可被该磁性部件吸引的金属条并与磁性部件组成磁吸组件，在该供电组件与磁吸组件之间设有磁性屏蔽件以防止两者磁场干扰。

进一步地，该磁性屏蔽件固定在轨道上。

进一步地，该磁性屏蔽件固定在该磁吸组件上方的轨道底面上或固定在供电组件一侧的轨道侧面内，并遮挡住该磁吸组件和供电组件之间以任何直线可以相通的范围。

进一步地，该磁性屏蔽件的材料选自不导磁的不锈钢、硅钢或玻璃钢。

进一步地，该金属条固定于轨道底面的上或下表面，该输送车车身在该槽的底面处具有壳层，该磁性部件固定在壳层上。

进一步地，该磁性部件为磁性材料，或为通电后可产生磁性的电磁件。

进一步地，该槽底面处的壳层向上设有至少一个缓冲部件。

进一步地，该输送车车身在该槽的侧面处也具有壳层，该槽的两个侧面处的壳层向槽内方向均设有至少一个缓冲部件。

进一步地，该缓冲部件为滚珠或滚轮，并通过弹性件固定在壳层上。

进一步地，该车轮通过弹性件固定在车轮安装部上，该连接机构包括一升降机构，以使硅片盒取放机构上下升降。