[发明专利]双掺杂锶酸盐发光薄膜及其制备方法和电致发光器件

权利要求书

1.一种双掺杂锶酸盐发光薄膜，其特征在于，所述发光薄膜的化学通式为Sr₂MO₄ : xMn⁴⁺,yCr³⁺；其中：

Sr₂MO₄是基质，Mn，Cr是激活元素；

x的取值范围为0.01~0.05，y的取值范围为0.01~0.06；

M为Ce、Pb或Pr。

2.如权利要求1所述的双掺杂锶酸盐发光薄膜，其特征在于，x取值为0.02，y取值为0.03。

3.一种双掺杂锶酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（a）按照摩尔比2 : 1 : x : y/2，分别称取SrO、MO₂、MnO₂和Cr₂O₃粉体，经过研磨混合均匀后，在900~1300℃下烧结，制成靶材，其中，x的取值范围为0.01~0.05，y的取值范围为0.01~0.06；

（b）将步骤（a）中得到的靶材装入脉冲激光沉积镀膜设备的真空腔体内，再把衬底装入所述真空腔体内，并将真空腔体的真空度设置在 1.0×10^-3Pa~1.0×10^-5Pa 之间；

（c）调整脉冲激光沉积镀膜工艺参数为 ：将所述靶材与所述衬底之间的距离调整为45~95mm；将所述脉冲激光沉积镀膜设备的激光能量调整为80~300W；将所述脉冲激光沉积镀膜设备的工作气体调整为10~40sccm流量的氧气；将所述氧气的压强调整为0.5~5Pa，将衬底温度调整为250℃~750℃；接着通过所述脉冲激光沉积镀膜设备和所述靶材在所述衬底进行镀膜，得到化学通式为Sr₂MO₄ : xMn⁴⁺,yCr³⁺的所述双掺杂锶酸盐发光薄膜；其中，Sr₂MO₄是基质，Mn、Cr是激活元素；x的取值范围为0.01~0.05，y的取值范围为0.01~0.06；M为Ce、Pb或Pr。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述的步骤（a）中，所述靶材制备的烧结温度为1250℃；所述靶材的直径为50mm、厚度为2mm。

5.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述的步骤（b）中，所述真空腔体的真空度设置在5.0×10^-4Pa。

6.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述的步骤（c）中，所述靶材与所述衬底之间的距离为60mm，所述激光的能量为150W，所述脉冲激光沉积镀膜设备的工作气体为20sccm流量的氧气，所述氧气为3Pa，所述衬底温度为500℃。

7.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述的步骤（c）中，x取值为0.02，y取值为0.03。

8.一种电致发光器件，其为复合层状结构，所述复合层状结构依次为玻璃基片、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层为权利要求1或2所述的双掺杂锶酸盐发光薄膜。

9.如权利要求8所述的电致发光器件，其特征在于，x取值为0.02，y取值为0.03。

10.如权利要求8所述的电致发光器件，其特征在于，所述阴极层为银层。