[发明专利]一种曝光机及其控制方法

权利要求书

1.一种曝光机，其特征在于：包括控制器，半椭圆球体型反射罩、UV灯、可调基座、电机、平面反射镜和照度感应器，其中，所述UV灯设置在所述半椭圆球体型反射罩中，所述UV灯的底部设有由所述电机控制的可调基座，所述平面反射镜设置在半椭圆球体型反射罩内的焦点处；所述照度感应器设置在半椭圆球体型反射罩的外部，用于检测经过平面反射镜反射出半椭圆球体型反射罩的光的照度，并将检测的结果传输到控制器中；所述控制器与电机连接，用于控制电机的转动。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述电机为精密电机，所述精密电机的精度为1um。

3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述控制器中包括依次连接的PC机和PLC。

4.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述平面反射镜设置的角度为45°。

5.一种基于权利要求1所述的曝光机的控制方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）在控制器中设定UV灯的初始高度、固定照度、校准模式和实时调节模式；

（2）控制器控制电机将UV灯置于初始高度，并调整UV灯的功率使照度感应器测量的照度与固定的照度相等并保持，然后控制器进入校准模式；所述校准模式为控制器控制UV灯的功率保持不变，同时控制电机移动UV灯的高度，并用照度感应器测量UV灯在每个高度上的照度，记录下照度感应器测到最大照度时UV灯的最佳高度D_max然后退出校准模式；

（3）控制器退出校准模式后，将UV灯恢复至初始高度，同时控制器进入实时调节模式；所述实时调节模式为，照度感应器感应从半椭圆球体型反射罩射出的光的照度，将照度感应值传输到控制器中，控制器将照度感应器的照度感应值与固定照度进行比较，当照度感应值低于固定照度时，先保持UV灯的功率不变，控制器控制电机调整UV灯的高度直到照度感应器检测到的照度感应值与固定照度相等后停止并将UV灯保持在当前高度；如果UV灯的高度达到最佳高度D_max，照度感应器检测的照度感应值没有达到固定照度，控制器控制电机将UV灯恢复到初始高度后，调节UV灯的功率使得照度感应器的照度感应值与固定照度相同，同时将UV灯的功率保持在当前功率并退出实时调节模式重新进入校准模式。