[发明专利]超大尺寸导电陶瓷蒸发舟及其制备方法有效
申请号: | 201310449039.7 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN103539456A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 巩长生;任学美;宫伯昌 | 申请(专利权)人: | 山东鹏程特种陶瓷有限公司 |
主分类号: | C04B35/58 | 分类号: | C04B35/58;C04B35/622 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 耿霞 |
地址: | 256400 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超大 尺寸 导电 陶瓷 蒸发 及其 制备 方法 | ||
1.一种超大尺寸导电陶瓷蒸发舟,其特征在于,以重量分数计,由以下组分组成:
BN:30-40%、TiB2:40-55%、AlN:10-15%、ZrB2:2-6%,烧结助剂和改性剂:1-4%。
2.根据权利要求1所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟,其特征在于,以重量分数计,由以下组分组成:
BN:35%、TiB2:50%、AlN:12%、ZrB2:3-5%,烧结助剂和改性剂:1-3%。
3.根据权利要求1所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟,其特征在于,烧结助剂和改性剂为的Y2O3、CaCO3、Ni的一种或多种。
4.一种权利要求1所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,制将原料进行配料后混合,经冷压造粒、装模、烧结成型得产品。
5.根据权利要求4所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,煅烧温度低于1350-1450℃时,炉内为真空状态。
6.根据权利要求4所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,煅烧温度升到1350-1450℃后,炉内气氛改为N2,加压至5MPa。
7.根据权利要求4所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,煅烧温度升至1600-1700℃,加压力至5-8MPa。
8.根据权利要求4所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,当煅烧温度升到2180℃,加压至19.5-20MPa。
9.根据权利要求4所述的超大尺寸导电陶瓷蒸发舟的制备方法,其特征在于,当煅烧温度升到2180℃,加压至19.5-20MPa后保温、保压90-120分钟。
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