[发明专利]一种氢化铍材料的制备方法及装置

权利要求书

1.一种氢化铍材料的制备方法，其特征在于：所述的方法依次包括以下步骤：

(a) 低压氢气在射频电感耦合放电条件下产生氢等离子体；

(b) 对氢等离子体进行约束，获得活性氢原子射流；

(c) 将活性氢原子和二叔丁基铍蒸汽导入混合反应腔碰撞反应，活性氢原子诱导二叔丁基铍分子气相裂解并生成气态氢化铍分子；

(d)  气态氢化铍分子碰撞聚合成固态氢化铍材料。

2.根据权利要求1所述氢化铍材料的制备方法，其特征在于：步骤(a)中所述低压氢气的气压为1~100pa。

3.根据权利要求1所述氢化铍材料的制备方法，其特征在于：步骤(b)中所述对氢等离子体进行约束是将放电石英管的下端用一个中心开有小孔的金属板密封，高能量电子和离子被限制在石英管内，活性氢原子通过该小孔注入反应腔诱导二叔丁基铍气相裂解。

4.根据权利要求1所述氢化铍材料的制备方法，其特征在于：步骤(c)中所述导入二叔丁基铍蒸汽的载气为高纯氢气，其纯度≥99.995%。

5.根据权利要求1所述氢化铍材料的制备方法，其特征在于：步骤(c)中所述活性氢原子和二叔丁基铍蒸汽碰撞反应的气压为5.0×10^-2 Pa～100Pa。

6.根据权利要求1所述制备氢化铍材料的制备方法，其特征在于：步骤(d)中所述氢化铍材料为氢化铍薄膜或氢化铍粉末。

7.一种氢化铍材料的制备装置，其特征在于：所述的装置中的氢气瓶(1)经水过滤器(2)后分为两路，一路用作载气，一路用作放电氢气，通过不锈钢管(18)分别与钢瓶(7)进气口、石英管(17)连接；钢瓶(7)出气口与混合反应腔(14)连接，真空室(15)与石英管(17)通过小孔连通，真空室(15)通过一个法兰口与真空泵(12) 、过滤桶(11)连接，所述放电石英管(17)通过小孔与混合反应腔(14)连通，活性氢原子通过该小孔导入混合反应腔(14)诱导二叔丁基铍气相裂解。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：所述小孔的直径为2.5mm，长度为4mm。