[发明专利]位置检测装置

权利要求书

1.一种位置检测装置（10），所述位置检测装置（10）通过从检测喷嘴（14）对工件（28）的检测表面（30）喷射由压力流体供给源（12）提供的压力流体，并且检测所述压力流体的背压，从而检测所述工件（28）的位置，其特征在于，所述位置检测装置包括：

装置主体（57），由所述压力流体供给源（12）提供的所述压力流体被导入到所述装置主体（57）；和

附接/拆卸机构（56），所述附接/拆卸机构（56）能够相对于所述装置主体（57）被附接和拆卸，包括内部喷嘴（32）和检测端口（20），所述内部喷嘴（32）朝向所述检测喷嘴（14）侧输送提供到所述装置主体（57）的所述压力流体，所述检测端口（20）将从所述内部喷嘴（32）输送的所述压力流体提供到所述检测喷嘴（14）。

2.如权利要求1所述的位置检测装置（10），其特征在于，

供给通道（60）和安装部（92）被设置在所述装置主体（57）中，由所述压力流体供给源（12）提供的所述压力流体被导入所述供给通道（60），所述安装部（92）与所述供给通道（60）连通并且所述附接/拆卸机构（56）被安装在所述安装部（92）上；

节流孔（112）被设置在所述内部喷嘴（32）中，当所述附接/拆卸机构（56）被安装在所述安装部（92）上时，所述节流孔（112）与所述供给通道（60）连通；并且

检测通道（139）被设置在所述检测端口（20）中，所述检测通道（139）与所述节流孔（112）连通，并且所述检测通道（139）将经由所述节流孔（112）从所述供给通道（60）输送的所述压力流体提供到所述检测喷嘴（14）。

3.如权利要求2所述的位置检测装置（10），其特征在于，

所述附接/拆卸机构（56）是管状的，所述附接/拆卸机构（56）的一端沿着所述附接/拆卸机构（56）的中心轴（55）延伸，从而构成所述内部喷嘴（32），所述附接/拆卸机构（56）的另一端沿着所述中心轴（55）延伸，从而构成所述检测端口（20）；

所述安装部（92）被形成为凹部，所述管状附接/拆卸机构（56）能够被安装在其中；

所述检测端口（20）在所述内部喷嘴（32）侧的一部分被形成为直径减小部（121），所述直径减小部（121）的外径小于所述凹部（92）的内径；

连通孔（122）沿所述附接/拆卸机构（56）的径向形成在所述直径减小部（121）中，所述连通孔（122）与所述检测通道（139）连通；

通过相对于所述安装部（92）安装所述附接/拆卸机构（56），在所述安装部（92）中所述直径减小部（121）附近的位置形成流体导入空间（140），所述流体导入空间（140）经由所述连通孔（122）与所述检测通道（139）连通；并且

所述位置检测装置（10）进一步包括检测通道侧压力传感器（36），所述检测通道侧压力传感器通过检测经由所述连通孔（122）从所述检测通道（139）导入所述流体导入空间（140）的所述压力流体的压力来检测所述背压。

4.如权利要求3所述的位置检测装置（10），其特征在于，所述连通孔（122）被形成为在所述直径减小部（121）中的多个单独的连通孔。

5.如权利要求3所述的位置检测装置（10），其特征在于，进一步包括供给通道侧压力传感器（34），所述供给通道侧压力传感器（34）用于检测从所述压力流体供给源（12）提供到所述供给通道（60）的所述压力流体的供给压力。

6.如权利要求5所述的位置检测装置（10），其特征在于，

所述检测通道侧压力传感器（36）包括表压力传感器，所述表压力传感器配置在所述装置主体（57）中，从而面向所述流体导入空间（140）；并且

所述供给通道侧压力传感器（34）包括表压力传感器，所述表压力传感器配置在所述装置主体（57）中，从而面向所述供给通道（60）。