[发明专利]一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的夹板

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池器件制造技术领域，主要用来改善48所M42300-1／UM型刻蚀机刻蚀效果。 

背景技术

目前，晶体硅太阳能电池的发展方向依然是降低成本和提高效率。为了达到这两个目标，在去边缘PN结方面，主要采用等离子体干法刻蚀和链式湿法刻蚀两种方法。目前，链式湿法刻蚀设备主要依赖进口，严重增加了生产固有成本。 

而48所自主研制的M42300-1／UM型等离子体刻蚀机，在满足传统太阳能电池的工艺的基础上，M42300-1／UM型等离子体刻蚀机完全属于自主研发设备，且每次刻蚀最大数量800片，即降低了生产成本，又提高了生产产能。但是，在刻蚀夹具上存在不足，导致边缘刻蚀时容易形成刻蚀不足或过刻现象。而“回”字形铝合金夹板能有效改善这些问题。 

发明内容

为了解决M42300-1／UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果不佳的问题，本发明在原刻蚀夹具上，采用回字形铝合金夹板代替原铝合金夹板，能有效减小暗电流并增加并联电阻，同时解决了因钻刻导致有效受光面积的问题。 

本发明通过以下技术方案实现： 

1.一种运用于M42300-1／UM型等离子体刻蚀机的铝合金夹板，采用了一种“回”字形结构。 

2.种运用于M42300-1／UM型等离子体刻蚀机的铝合金夹板，改进了原有夹板的受力方式，防止了原有夹具在受力时夹板四周因受力而翘曲的现象发生，有效改善了刻蚀效果。 

本发明具有如下显著优点： 

1.通过“回”字结构夹板，使所受压力有效分散到夹具的四边，防止了夹板翘曲现象的发生。 

2.通过“回”字结构夹板的作用，有效防止了钻刻的发生。 

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。 

图1是原铝合金夹板上表面 

图2是原铝合金夹板下表面 

图3是改进后铝合金夹板上表面 

图4是改进后铝合金夹板下表面 

图5是改进后夹具实际运用时的组装图 

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的介绍，但是不作为对本发明的限定。 

如附图所示，在原夹板的基础上，上表面中间部分增加了一个小正方形的凸起部分，且其四角通过金属凸起与外四角链接，如图2所示。实际运用时如图3所示，夹板受力时均匀作用在夹板四周，减小了夹板四周与硅片、硅片与硅片间的缝隙，有效防止了钻刻的发生。 

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。