[发明专利]薄片形件的检查装置有效
| 申请号: | 201310414942.X | 申请日: | 2013-09-12 |
| 公开(公告)号: | CN103674971A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
| 发明(设计)人: | 大滨贤太郎 | 申请(专利权)人: | 小森公司 |
| 主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;B41F33/00 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李雪春;王维玉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 薄片 检查 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种薄片形件的检查装置,是实施了具有透过特性的加工的薄片形件的检查装置,其特征在于包括:
支承构件,与所述薄片形件相对的面被加工成黑色;
光源,对所述薄片形件照射包含红外线的光;
摄像装置,拍摄所述薄片形件;
红外线滤波器,将从所述薄片形件和所述支承构件反射的来自所述光源的光的可见光截止,仅使红外线入射所述摄像装置;以及
控制装置,利用入射所述摄像装置的、从所述薄片形件和所述支承构件反射的来自所述光源的红外线,判断所述薄片形件的透过特性的加工是否合格。
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