[发明专利]一种ITO表面粗化处理方法无效
| 申请号： | 201310414703.4 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103474528A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 郁彬 | 申请（专利权）人： | 昆山奥德鲁自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/38 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ito 表面 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO表面粗化处理方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）将清洗后的外延片进行ITO蒸镀；
（2）将表面镀有ITO的外延片送至ICP机台内，所述机台加载的上电极功率为260-300W，所述机台加载的下电极功率为30-50W，在上述工艺下通入惰性气体进行干法刻蚀3-5min。
2.根据权利要求1所述的一种ITO表面粗化处理方法，其特征在于：所述步骤（2）通入惰性气体为氩气，其流量为20-30sccm。
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