[发明专利]一种反射镜精密调整装置

权利要求书

1.一种反射镜精密调整装置，设置在光学系统镜座上，其特征在于包括：第一镜环、第二镜环和第三镜环；所述第一镜环和第二镜环之间通过第一簧片组件连接；所述第二镜环和第三镜环通过第二簧片组件连接；所述第一镜环相对于所述第二镜环旋转；所述第二镜环相对于所述第三镜环旋转；反射镜设置在所述第一镜环上；所述第三镜环通过转接板与所述镜座连接。

2.如权利要求1所述的反射镜精密调整装置，其特征在于所述反射镜通过一压盖与所述第一镜环固定连接。

3.如权利要求2所述的反射镜精密调整装置，其特征在于：通过直线电机驱动所述第二镜环相对所述第一镜环旋转；通过直线电机驱动所述第三镜环相对所述第二镜环旋转。

4.如权利要求3所述的反射镜精密调整装置，其特征在于，所述第一镜环上装有销钉，所述第三镜环上装有所述直线电机，所述第一镜环与第三镜环通过螺钉和弹簧弹性连接，直线电机出轴伸出或缩进时始终与所述销钉紧密贴合。

5.如权利要求1所述的反射镜精密调整装置，其特征在于，所述第一簧片组件和第二簧片组件均由多个簧片组成，簧片与簧片之间通过支架、压板连接，支架之间可以相对旋转。