[发明专利]一种氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法有效
| 申请号: | 201310409704.X | 申请日: | 2013-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN103469183A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
| 发明(设计)人: | 罗来马;卢泽龙;吴玉程;程继贵 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
| 主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40;C23C18/18 |
| 代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 乔恒婷 |
| 地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 氧化铝陶瓷 表面 金属化 方法 | ||
1.一种氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,包括粗化预处理、一次镀镍和二次镀铜各单元过程,其特征在于:
所述粗化预处理是将氧化铝陶瓷基板放入粗化液中超声处理20-40分钟,之后用去离子水冲洗,得到预处理基板;
所述一次镀镍是将所述预处理基板置于镀液Ⅰ中,室温下超声沉积40-60分钟,取出后用去离子水冲洗,干燥后得到镀镍基板;
所述二次镀铜是将所述镀镍基板置于镀液Ⅱ中,于60-80℃反应40-60分钟,冷却后取出用去离子水冲洗,干燥后得到镀铜基板。
2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:
所述粗化液为氢氟酸和氟化铵的水溶液,所述粗化液中氢氟酸的浓度为20-60ml/L,氟化铵的浓度为1-4g/L;
所述镀液Ⅰ是硫酸镍、次亚磷酸钠、硼酸和柠檬酸钠的水溶液,所述镀液Ⅰ中硫酸镍的浓度为20-30g/L,次亚磷酸钠浓度为22-27g/L,硼酸的浓度为24-30g/L,柠檬酸钠的浓度为50-60g/L。
3.根据权利要求1或2所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:
所述镀液Ⅰ的pH值用氢氧化钠调至10-11。
4.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:
所述镀液Ⅱ是硫酸铜、甲醛、乙二胺四乙酸二钠和2,2-联吡啶的水溶液,所述镀液Ⅱ中硫酸铜的浓度为10-13g/L,2,2-联吡啶的浓度为0.03-0.05g/L,甲醛的浓度为15-25mL/L,乙二胺四乙酸二钠的浓度为35-45g/L。
5.根据权利要求1或4所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:
所述镀液Ⅱ的pH值用氢氧化钠调至11-12。
6.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:
所述超声沉积时的超声频率为40KHz,功率为300-400W。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
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