[发明专利]一种氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法有效

专利信息
申请号: 201310409704.X 申请日: 2013-09-10
公开(公告)号: CN103469183A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 罗来马;卢泽龙;吴玉程;程继贵 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;C23C18/18
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 乔恒婷
地址: 230009 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化铝陶瓷 表面 金属化 方法
【权利要求书】:

1.一种氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,包括粗化预处理、一次镀镍和二次镀铜各单元过程,其特征在于:

所述粗化预处理是将氧化铝陶瓷基板放入粗化液中超声处理20-40分钟,之后用去离子水冲洗,得到预处理基板;

所述一次镀镍是将所述预处理基板置于镀液Ⅰ中,室温下超声沉积40-60分钟,取出后用去离子水冲洗,干燥后得到镀镍基板;

所述二次镀铜是将所述镀镍基板置于镀液Ⅱ中,于60-80℃反应40-60分钟,冷却后取出用去离子水冲洗,干燥后得到镀铜基板。

2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:

所述粗化液为氢氟酸和氟化铵的水溶液,所述粗化液中氢氟酸的浓度为20-60ml/L,氟化铵的浓度为1-4g/L;

所述镀液Ⅰ是硫酸镍、次亚磷酸钠、硼酸和柠檬酸钠的水溶液,所述镀液Ⅰ中硫酸镍的浓度为20-30g/L,次亚磷酸钠浓度为22-27g/L,硼酸的浓度为24-30g/L,柠檬酸钠的浓度为50-60g/L。

3.根据权利要求1或2所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:

所述镀液Ⅰ的pH值用氢氧化钠调至10-11。

4.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:

所述镀液Ⅱ是硫酸铜、甲醛、乙二胺四乙酸二钠和2,2-联吡啶的水溶液,所述镀液Ⅱ中硫酸铜的浓度为10-13g/L,2,2-联吡啶的浓度为0.03-0.05g/L,甲醛的浓度为15-25mL/L,乙二胺四乙酸二钠的浓度为35-45g/L。

5.根据权利要求1或4所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:

所述镀液Ⅱ的pH值用氢氧化钠调至11-12。

6.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷基板表面金属化的方法,其特征在于:

所述超声沉积时的超声频率为40KHz,功率为300-400W。

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