[发明专利]CIGS基或CZTS基薄膜太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 201310407360.9 | 申请日: | 2013-09-09 |
公开(公告)号: | CN103811571A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 朴钟九;赵素惠;宋奉根;李昇勇;朴甫仁;朴滢浩 | 申请(专利权)人: | 韩国科学技术研究院 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/0392;H01L31/18 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;冯敏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cigs czts 薄膜 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜,所述预处理薄膜包括顺序地堆叠的基板、钼背电极层、铜薄膜、以及光吸收粉末层。
2.根据权利要求1所述的用于制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜,其中,光吸收粉末层具有CuxInyGa1-y(SzSe1-z)2或Cu(2-p)Zn(2-q)Snq(SrSe(1-r))4的组分,并且通过非真空型工艺涂覆,包括刮刀涂布工艺、丝网印刷工艺、旋转涂布工艺、喷涂工艺或涂装工艺,其中,0<x<1、0<y<1、0<z<1,并且x、y和z中的每个都代表实数,其中,0<p<2、0<q<2、0<r<2,并且p、q和r中的每个都代表实数。
3.根据权利要求1所述的用于制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜,其中,钼背电极层具有0.5-5μm的厚度且铜薄膜有对应于光吸收粉末层厚度的1-10%的厚度。
4.一种制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的方法,所述方法包括下述步骤:
在基板的一个表面上形成钼背电极层;
在钼背电极层上形成铜薄膜;
在铜薄膜上形成铜铟镓硒或铜锌锡硫的光吸收粉末层,以提供制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜;以及
对用于制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜热处理,以形成光吸收层。
5.根据权利要求4所述的制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的方法,其中,基板从由玻璃、金属、陶瓷以及聚合物组成的组中选择。
6.根据权利要求4所述的制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的方法,其中,所述形成钼背电极层的步骤通过电子束镀膜、溅射、化学气相沉积或金属有机化学气相沉积工艺使钼涂覆到基板上来执行。
7.根据权利要求4所述的制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的方法,其中,所述形成铜薄膜的步骤通过真空蒸镀、热真空蒸镀、电子束镀膜、溅射、化学气相沉积、金属有机化学气相沉积或电化学沉积工艺在钼背电极层上涂覆铜薄膜来执行。
8.根据权利要求4所述的制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的方法,其中,所述形成光吸收粉末层以提供制备铜铟镓硒基或铜锌锡硫基太阳能电池的预处理薄膜的步骤包括通过非真空型工艺在非真空环境下,涂覆具有CuxInyGa1-y(SzSe1-z)2或Cu(2-p)Zn(2-q)Snq(SrSe(1-r))4组成的粉末或糊料,非真空型工艺包括刮刀涂布技术、丝网印刷工艺、旋转涂布工艺、喷涂工艺或涂装工艺,其中,0<x<1、0<y<1、0<z<1,并且x、y和z中的每个都代表实数,其中,0<p<2、0<q<2、0<r<2,并且p、q和r中的每个都代表实数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的