[发明专利]靶材的处理方法在审
| 申请号： | 201310396542.0 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN104419902A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;徐清锋 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/02;C23C4/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
1.一种靶材的处理方法，其特征在于，包括：
提供靶材，所述靶材包括边缘区域的非溅射区；
对所述靶材的非溅射区表面进行喷砂处理，形成粗糙面；
对所述粗糙面进行熔射处理，在所述非溅射区表面形成膜层。
2.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，对靶材的非溅射区表面进行喷砂处理后，还包括使用纯净水或去离子水清洗所述粗糙面。
3.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述喷砂处理过程中，喷砂枪枪嘴至非溅射区表面的距离范围为150mm～200mm。
4.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，喷砂枪喷嘴所喷砂粒所作的直线运动方向和所述非溅射区表面的夹角范围为40°～55°。
5.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述喷砂处理的压缩空气的压强调节在0.441MPa～0.539MPa。
6.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述喷砂处理的砂粒型号为46号白刚玉。
7.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述熔射处理的温度控制在1200℃～1350℃。
8.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述熔射处理的熔射距离为60mm～300mm。
9.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述熔射处理的熔射粉末的供给量设定为40～150g/min。
10.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述熔射处理的熔射粉末为铝粉末。
11.如权利要求1～10任一项所述的处理方法，其特征在于，所述靶材为钛靶材或钽靶材。
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